TFTLCD面板玻璃減薄工藝流程及不良ppt課件.ppt

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1、TFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及不良簡(jiǎn)介1Contents減薄的作用1減薄工藝簡(jiǎn)介2常見(jiàn)的減薄不良32減薄的作用1.減少占有的空間2.使Glass達(dá)到一定的柔性3減薄工藝簡(jiǎn)介用酸堿對(duì)Glass進(jìn)行刻蝕，從而達(dá)到減薄的目的。防止酸堿溶液從邊緣處進(jìn)入液晶盒內(nèi)，破壞封框膠，進(jìn)入Cell內(nèi)部，影響產(chǎn)品性能。獲得光亮、平整的表面。封膠減薄研磨4封膠封膠工藝防止強(qiáng)酸破壞Cell封框膠以及進(jìn)入Cell內(nèi)部1.加蓋遮光墊2.涂膠3.擦膠4.UV固化UV膠破壞TFT結(jié)構(gòu)一般在這之前還會(huì)進(jìn)行檢查。涂膠后靜置1min。清除多的UV膠

2、。UV固化后檢查5封膠UV固化UV燈GLS邊框膠涂膠后檢查涂膠加蓋遮光墊6原理及方式單片直立噴灑瀑布流多片直立浸泡原理1234減薄原理及方式6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O液體+固體（玻璃）->液體7單片直立噴灑瀑布流多片直立浸泡優(yōu)點(diǎn)：1.可以同時(shí)間處理多片玻璃。缺點(diǎn)：1.裝置大型。2.外圍產(chǎn)生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。優(yōu)點(diǎn)：1.可以滿足兩面不同蝕刻要求。多片缺點(diǎn)：1.蝕刻表面易產(chǎn)生凹點(diǎn)。優(yōu)點(diǎn)：1.表面最光滑，甚至可以不用拋光三種方式優(yōu)缺點(diǎn)8Textinhere蝕刻清洗減薄清洗減薄流程Sl

3、imming9減薄設(shè)備其余組件：供酸裝置HF酸濃度計(jì)溫度控制器洗氣裝置Loader單元預(yù)清洗單元蝕刻單元清洗單元干燥單元Unloader單元10減薄工藝參數(shù)1.反應(yīng)時(shí)間與玻璃質(zhì)量損失的關(guān)系圖1.反應(yīng)時(shí)間與玻璃質(zhì)量損失之間的關(guān)系11減薄工藝參數(shù)2.反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度的關(guān)系圖2.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度之間的關(guān)系12減薄工藝參數(shù)3.反應(yīng)速率與HF酸濃度的關(guān)系圖3.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與HF酸濃度之間的關(guān)系說(shuō)明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因?yàn)橐詺滏I形式存在的H－F鍵比HF分子中的H－F鍵更脆弱，

4、與SiO2反應(yīng)時(shí)更容易斷裂。13減薄清洗單元（后）DI浸泡堿浸泡酸浸泡DI浸泡a.5-10%NaOHb.45℃鼓泡C.10mina.3%HClb.或常溫C.1mina.DI水b.常溫C.5mina.DI水b.常溫C.5min清洗14清洗外觀檢查Polishing外觀檢查RejectItem自動(dòng)研磨手動(dòng)研磨Picture適應(yīng)產(chǎn)品無(wú)破損產(chǎn)品所有產(chǎn)品可修復(fù)不良不良率高發(fā)，嚴(yán)重不良不良率較低的輕微不良CAPAQ-panel拋光，效率高針對(duì)單點(diǎn)不良修復(fù)，效率低研磨15減薄工藝自身不良1.不可擦拭臟污2.薄化不勻16減薄工藝自

5、身不良玻璃本身含有雜質(zhì).1.除膠未干凈，有殘留2.PT等未清洗干凈1.設(shè)備故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蝕刻方式）3.Nozzle堵塞（噴淋式蝕刻方式）玻璃被蝕刻時(shí)局部蝕刻不一致工藝設(shè)備玻璃表面玻璃本身17Slimming后劃傷Slimming前發(fā)生輕微ScratchSlimming后Scratch程度加重HumaneyeinvisibleSlimming18Slimming后劃傷LiftPin凹點(diǎn)19Slimming后劃傷2.Robot吸盤凹點(diǎn)20Slimming后劃傷3.輪印21造成B-ITO不

6、良現(xiàn)象：ADS產(chǎn)品做完B-ITO后，產(chǎn)品與BOX接觸的位置ITO被嚴(yán)重腐蝕，類似產(chǎn)品表面水干燥后殘留的印記。原因：BOX在Slimming車間長(zhǎng)期周轉(zhuǎn)，slimming車間內(nèi)酸氣長(zhǎng)期在BOX表面附著，從而使BOX表面呈現(xiàn)酸性1.水漬酸印22其它不良1.電阻超標(biāo)原因：酸殘留23與減薄有關(guān)的性耐性沖擊和跌落高溫高濕老化玻璃基板表面蝕刻狀況確認(rèn)TFT端子部腐蝕狀況的確認(rèn)牢固度確認(rèn)將其放入冷熱交替的冷熱槽中對(duì)LCM進(jìn)行顯示檢查和顯微鏡Glass外觀檢查高溫高濕的老化槽內(nèi)進(jìn)行的持續(xù)老化。SEM對(duì)TFT端子部的表面和斷面的觀察

7、分析對(duì)LCM進(jìn)行沖擊和跌落。對(duì)LCM進(jìn)行顯示檢查和外觀檢查24謝謝！25此課件下載可自行編輯修改，供參考！感謝您的支持，我們努力做得更好！