SJT 10479-1994 自動(dòng)砂輪劃片機(jī)通用技術(shù)條件.pdf

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1、SJ中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10479一94自動(dòng)砂輪劃片機(jī)通用技術(shù)條件Generalspecificationforautomaticwheelscribingmachine1994-04-11發(fā)布1994-10-01實(shí)施中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部發(fā)布中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)砂輪劃片機(jī)通用技術(shù)條件Si/T10479一94Getteratspecifie時(shí)ionforautomaticwheelscribingmachine主題內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了自動(dòng)砂輪劃片機(jī)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“劃片機(jī)”)的技術(shù)要求、試驗(yàn)

2、方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于切割分離半導(dǎo)體硅片、石英、陶瓷等材料的劃片機(jī)。2弓1用標(biāo)準(zhǔn)GB191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB5080.7設(shè)備可靠性試驗(yàn)恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無(wú)故障時(shí)間的驗(yàn)證試驗(yàn)方案3技術(shù)要求3.1使用條件劃片機(jī)在下列使用條件下應(yīng)能正常工作:a.溫度:22士41r;/b.相對(duì)濕度:40%一70%;c.潔凈度:100000級(jí);d.供電條件:220V士10%,50Hz士2%;e.供氣條件:壓縮空氣壓力0.6MPa;真空壓力66.6kPa;f.供水條件:去離子水壓力0.2MPaa3.2

3、主機(jī)精度3.2.1X導(dǎo)軌與Y導(dǎo)軌的垂直度誤差不大于0.025mma3.2.2空氣靜壓電主軸端面與X導(dǎo)軌的平行度誤差不大于0.0025mma3.2.3X,Y導(dǎo)軌與承片臺(tái)的平行度誤差在150mm測(cè)量范圍內(nèi)不大于0.01mm.3.2.4承片臺(tái)或主軸升降定位誤差不大于0.008mma3.2.5承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)定位誤差不大于9"(0.00250)03.2.6Y步進(jìn)誤差不大于0.005mm,累積誤差在100mm測(cè)量范圍內(nèi)不大于0.008mm=中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部1994-04-11批準(zhǔn)1994-10-01實(shí)施ST/T10479一9

4、43.2.7空氣靜壓電主軸安裝砂輪刀處的精度:A.徑向圓跳動(dòng)0.004mm;b.端面圓跳動(dòng)0.002mm;c.軸向竄動(dòng)0.001mma3.3顯示屏一顯示屏左右圖像應(yīng)分中，并應(yīng)同樣清晰(單目或雙目顯微鏡)o3.4保護(hù)開(kāi)關(guān)各保護(hù)開(kāi)關(guān)應(yīng)工作可靠。a.當(dāng)壓縮空氣壓力小于或等于0.46MPa時(shí)，其保護(hù)開(kāi)關(guān)應(yīng)能立即自動(dòng)關(guān)斷，主軸停轉(zhuǎn);b.當(dāng)承片臺(tái)吸片壓力小于或等于16.66kPa時(shí)，其保護(hù)開(kāi)關(guān)應(yīng)能立即關(guān)斷，機(jī)器停止動(dòng)作;c.當(dāng)去離子水冷卻液壓力小于或等于0.07MPa時(shí)，其保護(hù)開(kāi)關(guān)應(yīng)能立即關(guān)斷，機(jī)器停止運(yùn)行。3.5空載試驗(yàn)劃片機(jī)

5、應(yīng)進(jìn)行空載試驗(yàn)。試驗(yàn)后檢驗(yàn)主機(jī)精度、顯示屏及各保護(hù)開(kāi)關(guān)功能。3.6負(fù)載試驗(yàn)劃片機(jī)經(jīng)空載試驗(yàn)后，方進(jìn)行負(fù)載試驗(yàn)，檢查劃片質(zhì)量。3.7安全要求3.7.1劃片機(jī)應(yīng)有接地措施并有接地標(biāo)志。3.7.2在測(cè)試電壓為500V時(shí)，電源輸入端與機(jī)殼之間的絕緣電阻不小于2MSlo3.7.3電源輸人端與機(jī)殼之間應(yīng)能承受交流1500V耐壓試驗(yàn)lmin，無(wú)擊穿或飛弧現(xiàn)象。3.8結(jié)構(gòu)3.8.1傳動(dòng)應(yīng)靈活、平穩(wěn)，動(dòng)作應(yīng)準(zhǔn)確、協(xié)調(diào)。3.8.2各固定部位不得有松動(dòng)現(xiàn)象。3.8.3水、氣管道不允許泄漏。3.9外觀劃片機(jī)外觀應(yīng)平整、光滑，無(wú)劃傷痕跡、無(wú)銹

6、蝕現(xiàn)象，鍍涂層不得脫落。3.10噪聲劃片機(jī)噪聲聲壓級(jí)不大于80dB(A)o3.”運(yùn)輸試驗(yàn)劃片機(jī)包裝后，應(yīng)進(jìn)行3h的運(yùn)輸試驗(yàn)。試驗(yàn)后其結(jié)構(gòu)及精度等不得改變，通電后應(yīng)能正常運(yùn)轉(zhuǎn)。3.12可靠性劃片機(jī)平均無(wú)故障工作時(shí)間(MTBF)的下限值，，應(yīng)大于500h.4試驗(yàn)方法4.1主機(jī)精度4.1.1X導(dǎo)軌與Y導(dǎo)軌的垂直度檢查將150mmx150mm方形角尺或?qū)Ｓ脴?biāo)準(zhǔn)測(cè)量板放置在承片臺(tái)上，干分表固定于主軸保護(hù)罩上，角尺的一邊與X導(dǎo)軌調(diào)平行，主軸沿Y導(dǎo)軌移動(dòng)測(cè)角尺的另一邊。一2一SJ/T10479一944.1.2空氣靜壓電主軸端面與X

7、導(dǎo)軌的平行度檢查按圖1，將千分表固定在承片臺(tái)上，沿X方向移動(dòng)承片臺(tái)，在給空氣靜壓軸承供氣時(shí)，測(cè)電主軸安裝刀片的最大定位端面。4.1.3X,Y導(dǎo)軌與承片臺(tái)的平行度檢查按圖2，將千分表固定在主軸護(hù)罩上，沿X,Y導(dǎo)軌移動(dòng)，在承片臺(tái)上表而均布9點(diǎn)處(周邊均布8點(diǎn)及中心點(diǎn))進(jìn)行測(cè)量;將承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)900再測(cè)一次。4.1.4承片臺(tái)或主軸升降定位檢查將千分表固定于主軸護(hù)罩上，表頭接觸承片臺(tái)于表面圓心附近，升降承片臺(tái)或主軸三次，讀出干分表前后兩個(gè)示值均不大于0.008mmo4.1.5承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)定位檢查將刻有圖形的硅片(或標(biāo)準(zhǔn)圖形板)放

8、置在承片臺(tái)上，先對(duì)準(zhǔn)第一個(gè)方向，將承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)900，再對(duì)準(zhǔn)第二個(gè)方向，并使承片臺(tái)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)返回第一個(gè)方向，觀察其定位誤差(手動(dòng)旋轉(zhuǎn)定位不做此項(xiàng)檢查)。4.1.6Y步進(jìn)誤差、累積誤差檢查用石英玻璃標(biāo)尺或其它測(cè)量?jī)x器測(cè)量Y步進(jìn)誤差和累積誤差。4.1.7主軸安裝砂輪刀處誤差檢查用千分表測(cè)量空氣靜壓電主軸安裝砂輪刀處的誤差。4.2顯示屏檢查用目測(cè)法檢查顯