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《SJT10479-1994自動砂輪劃片機通用技術(shù)條件.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、SJ中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10479一94自動砂輪劃片機通用技術(shù)條件Generalspecificationforautomaticwheelscribingmachine1994-04-11發(fā)布1994-10-01實施中華人民共和國電子工業(yè)部發(fā)布中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)自動砂輪劃片機通用技術(shù)條件Si/T10479一94Getteratspecifie時ionforautomaticwheelscribingmachine主題內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了自動砂輪劃片機(以下簡稱“劃片機”)的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝
2、、運輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于切割分離半導(dǎo)體硅片、石英、陶瓷等材料的劃片機。2弓1用標(biāo)準(zhǔn)GB191包裝儲運圖示標(biāo)志GB5080.7設(shè)備可靠性試驗恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無故障時間的驗證試驗方案3技術(shù)要求3.1使用條件劃片機在下列使用條件下應(yīng)能正常工作:a.溫度:22士41r;/b.相對濕度:40%一70%;c.潔凈度:100000級;d.供電條件:220V士10%,50Hz士2%;e.供氣條件:壓縮空氣壓力0.6MPa;真空壓力66.6kPa;f.供水條件:去離子水壓力0.2MPaa3.2主機精度3.2.1X導(dǎo)軌與Y導(dǎo)軌的垂直度誤差不大于0
3、.025mma3.2.2空氣靜壓電主軸端面與X導(dǎo)軌的平行度誤差不大于0.0025mma3.2.3X,Y導(dǎo)軌與承片臺的平行度誤差在150mm測量范圍內(nèi)不大于0.01mm.3.2.4承片臺或主軸升降定位誤差不大于0.008mma3.2.5承片臺旋轉(zhuǎn)定位誤差不大于9"(0.00250)03.2.6Y步進(jìn)誤差不大于0.005mm,累積誤差在100mm測量范圍內(nèi)不大于0.008mm=中華人民共和國電子工業(yè)部1994-04-11批準(zhǔn)1994-10-01實施ST/T10479一943.2.7空氣靜壓電主軸安裝砂輪刀處的精度:A.徑向圓跳動0.004mm;b
4、.端面圓跳動0.002mm;c.軸向竄動0.001mma3.3顯示屏一顯示屏左右圖像應(yīng)分中，并應(yīng)同樣清晰(單目或雙目顯微鏡)o3.4保護(hù)開關(guān)各保護(hù)開關(guān)應(yīng)工作可靠。a.當(dāng)壓縮空氣壓力小于或等于0.46MPa時，其保護(hù)開關(guān)應(yīng)能立即自動關(guān)斷，主軸停轉(zhuǎn);b.當(dāng)承片臺吸片壓力小于或等于16.66kPa時，其保護(hù)開關(guān)應(yīng)能立即關(guān)斷，機器停止動作;c.當(dāng)去離子水冷卻液壓力小于或等于0.07MPa時，其保護(hù)開關(guān)應(yīng)能立即關(guān)斷，機器停止運行。3.5空載試驗劃片機應(yīng)進(jìn)行空載試驗。試驗后檢驗主機精度、顯示屏及各保護(hù)開關(guān)功能。3.6負(fù)載試驗劃片機經(jīng)空載試驗后，方進(jìn)行負(fù)載
5、試驗，檢查劃片質(zhì)量。3.7安全要求3.7.1劃片機應(yīng)有接地措施并有接地標(biāo)志。3.7.2在測試電壓為500V時，電源輸入端與機殼之間的絕緣電阻不小于2MSlo3.7.3電源輸人端與機殼之間應(yīng)能承受交流1500V耐壓試驗lmin，無擊穿或飛弧現(xiàn)象。3.8結(jié)構(gòu)3.8.1傳動應(yīng)靈活、平穩(wěn)，動作應(yīng)準(zhǔn)確、協(xié)調(diào)。3.8.2各固定部位不得有松動現(xiàn)象。3.8.3水、氣管道不允許泄漏。3.9外觀劃片機外觀應(yīng)平整、光滑，無劃傷痕跡、無銹蝕現(xiàn)象，鍍涂層不得脫落。3.10噪聲劃片機噪聲聲壓級不大于80dB(A)o3.”運輸試驗劃片機包裝后，應(yīng)進(jìn)行3h的運輸試驗。試驗后
6、其結(jié)構(gòu)及精度等不得改變，通電后應(yīng)能正常運轉(zhuǎn)。3.12可靠性劃片機平均無故障工作時間(MTBF)的下限值，，應(yīng)大于500h.4試驗方法4.1主機精度4.1.1X導(dǎo)軌與Y導(dǎo)軌的垂直度檢查將150mmx150mm方形角尺或?qū)Ｓ脴?biāo)準(zhǔn)測量板放置在承片臺上，干分表固定于主軸保護(hù)罩上，角尺的一邊與X導(dǎo)軌調(diào)平行，主軸沿Y導(dǎo)軌移動測角尺的另一邊。一2一SJ/T10479一944.1.2空氣靜壓電主軸端面與X導(dǎo)軌的平行度檢查按圖1，將千分表固定在承片臺上，沿X方向移動承片臺，在給空氣靜壓軸承供氣時，測電主軸安裝刀片的最大定位端面。4.1.3X,Y導(dǎo)軌與承片臺的平
7、行度檢查按圖2，將千分表固定在主軸護(hù)罩上，沿X,Y導(dǎo)軌移動，在承片臺上表而均布9點處(周邊均布8點及中心點)進(jìn)行測量;將承片臺旋轉(zhuǎn)900再測一次。4.1.4承片臺或主軸升降定位檢查將千分表固定于主軸護(hù)罩上，表頭接觸承片臺于表面圓心附近，升降承片臺或主軸三次，讀出干分表前后兩個示值均不大于0.008mmo4.1.5承片臺旋轉(zhuǎn)定位檢查將刻有圖形的硅片(或標(biāo)準(zhǔn)圖形板)放置在承片臺上，先對準(zhǔn)第一個方向，將承片臺旋轉(zhuǎn)900，再對準(zhǔn)第二個方向，并使承片臺自動旋轉(zhuǎn)返回第一個方向，觀察其定位誤差(手動旋轉(zhuǎn)定位不做此項檢查)。4.1.6Y步進(jìn)誤差、累積誤差檢查
8、用石英玻璃標(biāo)尺或其它測量儀器測量Y步進(jìn)誤差和累積誤差。4.1.7主軸安裝砂輪刀處誤差檢查用千分表測量空氣靜壓電主軸安裝砂輪刀處的誤差。4.2顯示屏檢查用目測法檢查顯
