微奈米技術(shù)導(dǎo)論.doc

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1、髒:1163003國(guó)立中興大學(xué)課程綱要一、【開(kāi)課單位】機(jī)械系【開(kāi)課年級(jí)】大學(xué)部三年級(jí)三、【修別】選修四、【科目名稱(chēng)】（中文）：微奈米技術(shù)導(dǎo)論（英文）:IntroductiontoNanotechnologyandMEMS五、【授課教師】：戴慶良六、【先修科目】::上學(xué)期學(xué)分，下學(xué)期3學(xué)分A【授課時(shí)數(shù)】：（正課）3小時(shí),（實(shí)習(xí)）小時(shí)九、【教學(xué)目的】：本課程主要是提供機(jī)械系與工學(xué)院同學(xué)有關(guān)奈米科技和微機(jī)電系統(tǒng)的相關(guān)技術(shù)和應(yīng)用，課程重點(diǎn)包括奈米材料、奈米電子、奈米光電、奈米生物、奈米加工和檢測(cè)、和微機(jī)電系統(tǒng)等技術(shù)之介紹和應(yīng)用。十、【內(nèi)容綱要】：1.奈米材料2.奈米電子3.

2、奈米光電4.奈米生物技術(shù)5.奈米科技於傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)之應(yīng)用6.奈米科技於能源方面的應(yīng)用7.奈米檢測(cè)分析、加工與設(shè)備開(kāi)發(fā)8.微機(jī)電系統(tǒng)介紹1.微感測(cè)器之製作和應(yīng)用2.微致動(dòng)器之製作和應(yīng)用十一、【其他】：(如參考書(shū)目.?等)(1)課本1.S.Fatikow,Microsystemtechnologyandmicrorobotics,Springer-Verlag,1997.2.臺(tái)灣奈米科技，工業(yè)技術(shù)研究院,2004.3.補(bǔ)充講義(2)參考書(shū)1.G.Timp,Nanotechnology,Springer-Verlag,1999.2.M.J.Madou,Fundamentals

3、ofMicrofabrication,CRCPress,2002.3.微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)與應(yīng)用，機(jī)密儀器發(fā)展中心,20034.吉宗，奈米科技導(dǎo)論，全華科技,20035.圖解奈米科技，工業(yè)技術(shù)研究院,2002