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《基于Matlab的劃片機自動對準系統(tǒng)的研究.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、機械設計與制造第5期MachineryDesign&Manufacture2012年5月文章編號：1001—3997(2012)05—0096—02基于Matlab的劃片機自動對準系統(tǒng)的研究楊偉偉肖民(華東理工大學機械與動力工程學院，上海200237)ResearchonautomaticalignmentsystemofdicingmachinebasedonmatlabYANGWei—wei．XIAOMin(SchoolofMechanicalandPowerEngineering，EastChinaUniversityofScienceandTechnology，S
2、hanghai200237，China)w’1￡斤’、喜一w妻，"、量，H^^．，"”^曼，"毫，H、”曩，"、1t，t【摘要】分析了劃片機自動對準系統(tǒng)的構成和工作原理，提出模板匹配的簡化算法，從邊緣檢測處理后的圖像中提取晶圓切道，通過直線擬合得到晶圓切道中心線，完成晶圓的定位。Matlab的仿真與實驗結果表明，該自動對準方案能有效地識別晶圓中的切道，確定切道的位置偏差，滿足晶圓自動對準的技術要求。關鍵詞：劃片機；自動對準；圖像處理；模板匹配【Abstract】Theworkingprincipleof0llautomaticdicingsawalignmentsyste
3、misinvestigatedinit．Thesimplifedcalculationmethodispresentedbyusingm~chedtemplate．Thewaferchannelobtainedfromtheprocessedimagedatawiththee@edetectionachievesthechannelcenterlinethroughusingcurvet-ting，andthenthelocationofthewaferalignmentispinpointed．ThisexperimentandMatlabsimulationshowt
4、hatthisautomaticrecognitionprogramcanefficientlyrecognizethewaferchannelandsatisfythetechnicalrequirements．Keywords：Dicingsaw；Automaticalignment；ImageprOcess；Patternmatching中圖分類號：THl6，TP391．41文獻標識碼：A1引言沿z軸垂直運動，工作臺沿X、Y方向移動，并繞z軸轉動，待切割的晶圓由真空吸盤固定在工作臺上。系統(tǒng)工作時，首先沿、y劃片機是集成電路產(chǎn)業(yè)中分割Ic晶片的精密切割設備，隨軸方向移
5、動對準系統(tǒng)工作臺，使晶圓進入視場范圍；接著移動z著半導體工藝技術的發(fā)展，各種新型的封裝形式的出現(xiàn)，集成電軸，直至晶圓成像清晰；然后由攝像系統(tǒng)抓取晶圓圖像，輸入計算路晶體的圖形也更加復雜，精度要求也越來越高，傳統(tǒng)的半自動機，算法程序對圖像進行分析，計算出晶圓的角度和位置；根據(jù)計劃片設備已經(jīng)不能滿足現(xiàn)在精密集成電路的加工要求。現(xiàn)代數(shù)字算結果向運動控制卡發(fā)出指令，工作臺的位置進行相應的移動和圖像處理技術的發(fā)展為圖像識別系統(tǒng)的形成奠定了理論基礎，使晶圓的自動識別和對準成為可能。隨著圖像處理技術的發(fā)展，機轉動，把晶圓調整到目標位置。器視覺系統(tǒng)廣泛運用于醫(yī)學、地球遙感監(jiān)測、精密機械等
6、多個領3識別算法設計與實現(xiàn)域?，技術日趨成熟。對劃片機的視覺識別系統(tǒng)作了分析研究，提出了基于數(shù)字圖像處理技術的自動對準方案。2自動識別對準系統(tǒng)的構成圖1自動對準系統(tǒng)劃片機的識別對準系統(tǒng)是以計算機為主的實時圖像處理系圖2自動對準流程統(tǒng)，由光學系統(tǒng)、CCD、圖像采集卡、計算機、伺服運動驅動器等部自動識別對準過程包括圖像采集、目標區(qū)域識別并提取、直分組成12t。如圖1所示。在劃片機自動識別對準系統(tǒng)中，切割刀具線擬合、工作臺調整等幾部分。目標區(qū)域的識別和提取在對準過★來稿日期：2011-07—26機械設計與制造第5期98MachineryDesign&Manufacture201
7、2年5月文章編號：1001—3997(2012)05—0098—03基于Deform一2D的薄板沖裁有限元分析陳啟東‘溫華兵(’常熟理工學院機械工程學院，常熟215500)(江蘇科技大學船舶與海洋工程學院，鎮(zhèn)江212003)FiniteelementsanalysisforsheetstampingprocessbasedonDeform一2DCHENQi—dongI,WENHua-bing(MechanicalEngineeringDepartmentofChangshuInstituteofTechnology，Chang
