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1、常州瑞擇微電子科技有限公司ChangzhouRuizeMicroelectronicsCo.,Ltd.顯影蝕刻工藝調(diào)試目錄一.名詞解釋21.CD22.DOF23.DOSE24.ISOFOCALDOSE25.CDUniformity26.CDRange：27.ADI：28.AEI：29.ASI：2二.工藝調(diào)試內(nèi)容31.Etchtoclear測試31.1.測試目的31.2.測試條件31.3.測試步驟，31.4.數(shù)據(jù)處理32.ISOFOCALDOSE測試32.1.測試目的3機(jī)密11頁共11頁常州瑞擇微電子科技有限公司Changz
2、houRuizeMicroelectronicsCo.,Ltd.2.2.測試步驟32.3.數(shù)據(jù)處理32.4.其它53.CDuniformity測試53.1.測試目的53.2.測試條件53.3.測試步驟53.4.數(shù)據(jù)處理6機(jī)密11頁共11頁常州瑞擇微電子科技有限公司ChangzhouRuizeMicroelectronicsCo.,Ltd.一.名詞解釋1.CDCriticalDimension，關(guān)鍵尺寸，也稱線寬。衡量芯片制造工藝的指標(biāo)。線寬越小，芯片的集成度越高，其性能越好。2.DOFDepthofFocus，焦深，指光學(xué)
3、鏡頭的可聚焦范圍。在該范圍內(nèi)圖像能夠清晰成像。為能夠保證光膠完全曝光，焦深必須能夠覆蓋光刻膠層的上下表面。3.DOSE曝光劑量。DOSE＝曝光強(qiáng)度×曝光時(shí)間，單位：mJ/cm2。4.ISOFOCALDOSE最佳感光劑量。用此劑量曝光，聚焦誤差對CD影響最小。曝光機(jī)在生成圖形時(shí)，由于存在機(jī)械運(yùn)動(dòng)，會(huì)造成FOCUS偏移。采用ISOFOCALDOSE曝光，可獲得CDUniformity最優(yōu)的圖形。5.CDUniformityCD均勻性。是對所有CD測量值統(tǒng)計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)偏差6.CDRange：CD誤差。是所有CD測量值最大值和最小值的
4、差值。機(jī)密11頁共11頁常州瑞擇微電子科技有限公司ChangzhouRuizeMicroelectronicsCo.,Ltd.1.ADI：AfterDevelopInspection。顯影后CD測量。ADI一般用于檢測曝光機(jī)和顯影機(jī)的性能指標(biāo)。由于不能通過透射光測量，所以ADI一般通過電子束或掃描電鏡等手段測量。2.AEI：AfterEtchInspection。蝕刻后CD測量。AEI一般用于檢測蝕刻機(jī)臺(tái)的性能指標(biāo)。在生產(chǎn)上，也有兩步蝕刻工藝用到AEI。即顯影后先做初步蝕刻，然后根據(jù)AEI結(jié)果確定最終蝕刻工藝時(shí)間。這種工藝
5、在蝕刻性能受環(huán)境影響比較大的設(shè)備上能夠獲得比較好的工藝結(jié)果。3.ASI：AfterStripInspection。去膠后CD測量，也是成品的CD測量。一般用于成品出廠檢驗(yàn)。機(jī)密11頁共11頁常州瑞擇微電子科技有限公司ChangzhouRuizeMicroelectronicsCo.,Ltd.一.工藝調(diào)試內(nèi)容1.Etchtoclear測試1.1.測試目的初步確定蝕刻工藝的時(shí)間。1.2.測試條件l一塊帶有鉻層的空白掩模版1.3.測試步驟，l清洗測試版，去除掩模版表面污物，確保表面能夠完全浸潤。l將掩模版放置于卡盤上，設(shè)定卡盤旋
6、轉(zhuǎn)速度100rpm（要求與蝕刻工藝轉(zhuǎn)速相同）。l打開蝕刻噴嘴，并開始計(jì)時(shí)。l觀察到鉻層顏色發(fā)生突變（幾乎透明）時(shí)，停止計(jì)時(shí)。l關(guān)閉蝕刻噴嘴，清洗測試版和腔體。1.4.數(shù)據(jù)處理蝕刻工藝時(shí)間可初步定位測試計(jì)時(shí)的1.2倍。2.ISOFOCALDOSE測試2.1.測試目的確定最佳曝光劑量。機(jī)密11頁共11頁常州瑞擇微電子科技有限公司ChangzhouRuizeMicroelectronicsCo.,Ltd.1.1.測試步驟l設(shè)置曝光程序，生成測試圖形陣列。要求每一列對應(yīng)不同DOSE，每一行對應(yīng)不同F(xiàn)OCUS。l曝光生產(chǎn)測試版，并進(jìn)
7、行顯影、蝕刻和去膠處理。l測量測試版上陣列中每個(gè)點(diǎn)的CD。l分析測量數(shù)據(jù)。1.2.數(shù)據(jù)處理分析案例如下：DoseFocus73.3177.1681.2285.5090.0094.7499.72104.97110.508001.9932.0422.0862.1132.1452.1802.1892.2372.2576002.0022.0412.0862.1162.1462.1742.1852.2292.2514001.9992.0562.0822.1132.1432.1722.1882.2272.2482002.0092.04
8、02.0792.1122.1392.1742.1912.2262.25202.0072.0412.0812.1132.1442.1732.2012.2302.247-2001.9962.0392.0742.1122.1452.1742.2052.2402.257-4001.9902.0232.0692.
