刻蝕返工分析.doc

《刻蝕返工分析.doc》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。

1、3.16-3.23刻蝕返工統(tǒng)計(jì)不良總數(shù)898868136519012所占比例15.136%14.966%11.565%23.129%0.850%32.393%2.041%返工原因刻蝕線前寬刻蝕線后寬質(zhì)檢測片返工側(cè)邊刻蝕線較寬臟片/油污燒焦/黑點(diǎn)片其它原因　898868136519012刻蝕現(xiàn)階段返工原因分析及改善原因分析：針對上周RENA刻蝕出現(xiàn)的返工問題經(jīng)分析大約有以下幾個(gè)原因一、工藝問題：1、刻蝕線出現(xiàn)波動(dòng)，表現(xiàn)硅片在刻蝕槽前進(jìn)方向前端或后端出現(xiàn)較寬的刻蝕線，影響刻蝕外觀,經(jīng)分析出現(xiàn)這種情況占返工比例的30%左右，尤其這種情況出現(xiàn)在剛開機(jī)投片的時(shí)候，針對這種情況，主要是因?yàn)?/p>

2、前后排風(fēng)不平衡所致2、質(zhì)檢與生產(chǎn)人員投片較為分散，導(dǎo)致刻蝕液鋪展不好，上涌到硅片上，出現(xiàn)刻蝕線較寬現(xiàn)象。3、出現(xiàn)硅片側(cè)邊刻蝕線較寬主要因?yàn)榭涛g溶液不按照比例補(bǔ)液導(dǎo)致溶液比利失調(diào)或者設(shè)備滾輪不平，即滾輪出現(xiàn)兩邊低中間高的現(xiàn)象二、其它原因1、擴(kuò)散或制絨工藝衛(wèi)生不達(dá)標(biāo)，導(dǎo)致擴(kuò)散的燒焦與黑點(diǎn)片，這樣導(dǎo)致刻蝕后鍍膜出現(xiàn)不良，出現(xiàn)返工，增加了鍍膜段的返工率2、一些其它原因如硅片外觀油污臟片，導(dǎo)致刻蝕返工3、還有一些設(shè)備因素導(dǎo)致返工改善措施:1、出現(xiàn)刻蝕線前后較寬的現(xiàn)象，主要調(diào)節(jié)排風(fēng)使前后排風(fēng)達(dá)到平衡2、側(cè)邊爬液主要調(diào)整滾輪水平，同時(shí)可以調(diào)節(jié)帶速解決3、質(zhì)檢測片一定要與正常片一樣保持2cm的

3、距離，第一批次測片要在假片后面跑片降低測片帶來的返工，如下圖：測片…測片………假片假片假片假片保持假片與測片距離2CM或者測片與正常片2CM4、對于燒焦、黑點(diǎn)片，擴(kuò)散清洗段應(yīng)該做好藝衛(wèi)生，減少黑點(diǎn)，燒焦片的下傳