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1、分類號(hào)UDC：密級(jí)編號(hào)二維硅光子晶體制備及帶隙研究FabricationandBandGapResearchoftheTwo·DimensionalSiliconPhotonicCrystals學(xué)位授予單位及代碼：掛壹理王太差I(lǐng)!Q!豎)學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：邀蟲王堂皇固往蟲王堂lQ8Q!Q31研究方向：魚王篷瑾皇ME堅(jiān)拄查申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：且±一指導(dǎo)教師：端盔廢堡熬援研究生：盟—墾一論文起止時(shí)間：2Q塑：!Q=2Q!Q：12手機(jī)號(hào)碼：—186866—86172長春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的碩士學(xué)位論文，《二維硅光子晶體制各
2、及帶隙研究》是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外．本論文不包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的作品成果。對(duì)本文的研究做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均己在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。作者簽名：善島乳坦生年上月!￡月長春理工大學(xué)學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者及指導(dǎo)教師完全了解“長春理工大學(xué)碩士、博士學(xué)位論文版權(quán)使用規(guī)定”，同意長春理工大學(xué)保留并向中國科學(xué)信息研究所、中國優(yōu)秀博碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫和CNKl系列數(shù)據(jù)庫及其它國家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交學(xué)位論文的復(fù)印件和電
3、子版，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)長春理工大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索，也可采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯編學(xué)位論文。作者簽名：—≥《叢生一!!蘭年三月翌日導(dǎo)師躲蟊盆溺!L年山蘭一摘要光子晶體是不同介電材料周期性捧列形成的具有光子禁帶的一種結(jié)構(gòu)，某一頻率范圍的光落在帶隙中將被禁止向外傳播，利用這一特性可以操控光在光子晶體中的傳播。在N型硅襯底上用光電化學(xué)腐蝕方法制各了二維空氣柱光子晶體，并對(duì)制備過程中誘導(dǎo)坑的結(jié)構(gòu)、腐蝕溶液配比和腐蝕電壓對(duì)光子晶體結(jié)構(gòu)的影響做了分析，優(yōu)化了工藝參數(shù)，得到了較好的實(shí)驗(yàn)制各條件
4、。用FDTD法對(duì)二維空氣柱光子晶體的帶隙特性進(jìn)行了時(shí)域仿真，通過分析E、H兩種偏振的透射特性，研究了晶格周期、晶格結(jié)構(gòu)和空氣柱孔徑對(duì)光子帶隙的影響，為實(shí)驗(yàn)制各提供了理論依據(jù)。關(guān)鍵字：光子晶體光于禁帶時(shí)域有限差分法電化學(xué)腐蝕ABSTRACTPhotoniccrystalsareperiodicarrangementofdifferentdielectricmaterialswiththeformationofaphotonicbandgapstructure，afrequencyrangeoflightfallonthebandgapwillbe
5、prohibitedtospread，thisfeaturecanbeusedtomanipulatelighttransmissioninphotoniccrystalsTwo—dimensionalphotoniccrystalhasbeenfabricatedintheN—typesiliconsubstratebyelectrochemicaletching，thefactorsincludingthesizeofholes．thevoltageratioofcorrosionandCOITOSiOnsolutionwhicheffec
6、tthepropertiesofphotonicbandgaphavebeenanalyzedduringthefabrication，optimizedtheprocessparameters，goodexperimentalpreparationconditionshavebeenobtainedweinvestigatedthe2-DaircolumnphotoniccrystalbytimedomainsimulationusingFDTDmethod，andstudiedbandgaPofphotonaffectedbylattice
7、period，latticestractureandaircolumnaperturebyanalysingthepropertyoftransmissionofE，HpolarizationwhichprovidethetheoreticalbackgroundforourresearchKeywords：PhotonkcrystalsPhotonlchandgapF'miteD醯m∞TimeDomainMethodElecirochemioalcorrosion目錄摘要ABSTIRACT錄第一章緒論．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
8、光子晶體簡介????2光子晶體性質(zhì)及應(yīng)用13光子晶體的制備方法???????714本論文的主要研究內(nèi)容???12第二章光子晶體的理論分析方法．．???
