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《二維硅光子晶體制備及帶隙研究.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、分類號UDC：密級編號二維硅光子晶體制備及帶隙研究FabricationandBandGapResearchoftheTwo·DimensionalSiliconPhotonicCrystals學位授予單位及代碼：掛壹理王太差I(lǐng)!Q!豎)學科專業(yè)名稱及代碼：邀蟲王堂皇固往蟲王堂lQ8Q!Q31研究方向：魚王篷瑾皇ME堅拄查申請學位級別：且±一指導教師：端盔廢堡熬援研究生：盟—墾一論文起止時間：2Q塑：!Q=2Q!Q：12手機號碼：—186866—86172長春理工大學碩士學位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的碩士學位論文，《二維硅光子晶體制各
2、及帶隙研究》是本人在指導教師的指導下，獨立進行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外．本論文不包含任何其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的作品成果。對本文的研究做出重要貢獻的個人和集體，均己在文中以明確方式標明。本人完全意識到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔。作者簽名：善島乳坦生年上月!￡月長春理工大學學位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學位論文作者及指導教師完全了解“長春理工大學碩士、博士學位論文版權(quán)使用規(guī)定”，同意長春理工大學保留并向中國科學信息研究所、中國優(yōu)秀博碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫和CNKl系列數(shù)據(jù)庫及其它國家有關(guān)部門或機構(gòu)送交學位論文的復印件和電
3、子版，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)長春理工大學可以將本學位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進行檢索，也可采用影印、縮印或掃描等復制手段保存和匯編學位論文。作者簽名：—≥《叢生一!!蘭年三月翌日導師躲蟊盆溺!L年山蘭一摘要光子晶體是不同介電材料周期性捧列形成的具有光子禁帶的一種結(jié)構(gòu)，某一頻率范圍的光落在帶隙中將被禁止向外傳播，利用這一特性可以操控光在光子晶體中的傳播。在N型硅襯底上用光電化學腐蝕方法制各了二維空氣柱光子晶體，并對制備過程中誘導坑的結(jié)構(gòu)、腐蝕溶液配比和腐蝕電壓對光子晶體結(jié)構(gòu)的影響做了分析，優(yōu)化了工藝參數(shù)，得到了較好的實驗制各條件
4、。用FDTD法對二維空氣柱光子晶體的帶隙特性進行了時域仿真，通過分析E、H兩種偏振的透射特性，研究了晶格周期、晶格結(jié)構(gòu)和空氣柱孔徑對光子帶隙的影響，為實驗制各提供了理論依據(jù)。關(guān)鍵字：光子晶體光于禁帶時域有限差分法電化學腐蝕ABSTRACTPhotoniccrystalsareperiodicarrangementofdifferentdielectricmaterialswiththeformationofaphotonicbandgapstructure，afrequencyrangeoflightfallonthebandgapwillbe
5、prohibitedtospread，thisfeaturecanbeusedtomanipulatelighttransmissioninphotoniccrystalsTwo—dimensionalphotoniccrystalhasbeenfabricatedintheN—typesiliconsubstratebyelectrochemicaletching，thefactorsincludingthesizeofholes．thevoltageratioofcorrosionandCOITOSiOnsolutionwhicheffec
6、tthepropertiesofphotonicbandgaphavebeenanalyzedduringthefabrication，optimizedtheprocessparameters，goodexperimentalpreparationconditionshavebeenobtainedweinvestigatedthe2-DaircolumnphotoniccrystalbytimedomainsimulationusingFDTDmethod，andstudiedbandgaPofphotonaffectedbylattice
7、period，latticestractureandaircolumnaperturebyanalysingthepropertyoftransmissionofE，HpolarizationwhichprovidethetheoreticalbackgroundforourresearchKeywords：PhotonkcrystalsPhotonlchandgapF'miteD醯m∞TimeDomainMethodElecirochemioalcorrosion目錄摘要ABSTIRACT錄第一章緒論．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
8、光子晶體簡介????2光子晶體性質(zhì)及應用13光子晶體的制備方法???????714本論文的主要研究內(nèi)容???12第二章光子晶體的理論分析方法．．???
