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1、微蝕缸開缸、化驗(yàn)與添加方法控制參數(shù)范圍日常維護(hù)與添加1．此缸體積300升.2．開缸比例為25%3．先加入適量的水,接著加入75升微蝕劑YM-YT602，再加5L硫酸,然后加水稀釋至刻度。微蝕量0.8-2μm（1.5μm）每班分析H2SO4、H2O2、Cu2+及微蝕深度1.微蝕深度一般控制0.8-2微米,,其隨H2O2濃度,微蝕缸的溫度升高而加深.2.控制應(yīng)將H2SO4的含量在40-100g/L，濃度太低時(shí)請(qǐng)用工業(yè)硫酸進(jìn)行添加50%H2SO4添加量(KG)=(目標(biāo)值-實(shí)測(cè)值)*V（缸體積）*210003.H2O2(50%)應(yīng)控制在20g/L至4
2、0g/L的范圍,以30g/L最宜.偏低時(shí)請(qǐng)用微蝕劑YM-YT602直接補(bǔ)加.不可直接添加H2O2.YM-YT602的添加量(L)=(目標(biāo)值-實(shí)測(cè)值)*V（缸體積）1304.Cu2+控制在40g/L以下,濃度太高請(qǐng)放掉部分槽液或重新開缸.5.每公斤微蝕劑原液中含有硫酸160g/L，雙氧水130g/L6.每處理1000ft2雙面板補(bǔ)加YM-YT602藥水約7公斤7.硫酸和微蝕添加劑為開缸時(shí)侯使用,日常很少補(bǔ)加.[Cu]＜40g/L（＜25）H2SO440-100g/L（g/L）H2O2（50%）20g/L至40g/L溫度（℃）25-35（30）時(shí)
3、間（秒）20-40（30）化驗(yàn)方法一、分析控制方法:A.雙氧水含量的分析控制1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2.加入50毫升去離子水3.加入5毫升50%的硫酸溶液4.搖勻后用0.1N的高錳酸鉀標(biāo)準(zhǔn)溶液滴定至粉紅色高錳酸鉀數(shù)秒不退色為終點(diǎn)，記錄高錳酸鉀的消耗量.5.計(jì)算:（mlKMnO4滴定量）×（NKMnO4）×34.02=g/LH2O2(50%)B.H2SO4含量的分析控制1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2.加入50毫升去離子水3.加入少量甲基橙指示劑4.用0.5N的NaOH滴定至黃色終點(diǎn)記錄滴定量5.計(jì)算：（mlNaOH滴
4、定量）×（NNaOH）×49=g/L（H2SO4100%）C.銅離子含量分析控制1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2.加入50毫升去離子水3.加入少量NH3.H2O使溶液顏色變成藍(lán)色純清4.加入少量PAN指示劑5.用0.05NEDTA.2Na標(biāo)準(zhǔn)溶液滴定至淺黃綠色終點(diǎn)，記錄下消耗量6.計(jì)算：（mlEDTA.2Na滴定量）×（NEDTA.2Na）×63.54=g/LCu27.調(diào)整：如銅離子含量高于30g/L，抽出1/3~1/2舊工作液，然后補(bǔ)加等量新原液微蝕量控制：1、準(zhǔn)確的切割一片無(wú)孔的裸銅板，約3”×3”或4”×4”，量出準(zhǔn)確尺寸2、
5、酸洗銅板以去除氧化膜，用水沖洗，在120°F烘爐內(nèi)烘干及在干燥瓶?jī)?nèi)冷卻3、稱取銅板的重量（×）（準(zhǔn)確度小數(shù)點(diǎn)、后4位）4、把銅板按正常生產(chǎn)程序放入生產(chǎn)線5、在微蝕工序后出6、把銅板放在120°F的烘爐烘干數(shù)分鐘，在干燥瓶?jī)?nèi)冷卻，再稱重（Y）7、計(jì)算：要求：1.微蝕速度控制在40—80比較合適（40微英寸相當(dāng)于1微米）2.1平米英寸=6.4516平方厘米,1平方厘米=0.155平方英寸
