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《刻蝕濺射試題+答案.doc》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在教育資源-天天文庫。
1、一級題目：1：ATM在真空系統(tǒng)中表示___大氣壓____2:一標準大氣壓=___760__Torr=__1E-5_____Pa3：負壓檢漏常用__酒精___做檢漏液，正壓檢漏常用__肥皂水___做檢漏液4：3180濺射臺離子規(guī)顯示單位為_torr___,正常情況下本底真空數(shù)值為≤5E-6torr_______(范圍值)5：3180濺射臺熱偶規(guī)最小測量數(shù)值為___1____mtorr6:濺射臺和刻蝕機都有___離子規(guī)_____,___熱偶規(guī)___和__電容真空計____3種真空測量儀器7：現(xiàn)在所用的
2、清洗臺加熱缸有__水浴加熱____和__加熱絲加熱____兩種加熱方式8：刻蝕機所用油泵泵口真空最低可到__<8E-3___torr,所用干泵泵口真空最低可到__<2E-2___torr9：填寫以下8300刻蝕機顯示中各處真空表示的含義以及待機時正常顯示范圍Forline前級<200mtorrRootP腔粗抽<100mtorrProcess反應腔<5mtorrLoadlock裝載腔<5mtorrRoughL腔粗抽<5mtorr10：3180濺射臺最上方顯示的是__電容真空計___測量到的真空值，其
3、顯示范圍為____0.1mtorr~1torr_____11:刻蝕機特氣進入腔體前壓力一般不超過___20psi____12:P5000CVD腔體和濺射腔體真空方面最大的區(qū)別是___濺射需要高真空，CVD不需要________13:真空漏率常用單位為__mtorr/min_____,8300刻蝕機后腔和前腔漏率要求為_<0.2mtorr/min____和____<6mtorr/min__14:濺射臺和刻蝕機上用的高真空泵有____分子泵___和____冷泵_____15:分子泵控制器上4個指示燈從
4、下至上依次表示_正常加速錯誤電源_________16:冷泵需要再生的原因是__需去除活性炭中所吸附的氣體，恢復吸附能力______17:MFC是_質量流量計_______,其常用規(guī)格單位為__SCCM____和__SLM_____兩種18：8300刻蝕機和8100刻蝕機特氣氣路密封方式為__VCR___和__VCO___，其區(qū)別是__VCR用金屬硬密封，VCO用橡膠密封圈密封____19:8100正常輝光顏色為_白色____,8300正常輝光顏色為_______黃綠色_______20:3180
5、濺射臺上TC1表示__LL腔__的真空，TC3表示__前級___的真空盤二級：1:3180濺射臺小腔體放氣導致TC3真空變化原因是__隔離閥或者大盤雙層密封圈處有漏氣_______2:3180濺射臺大盤轉動處采用_磁流體_____進行動密封3：真空脂應用在__不開啟_____部分的密封圈上4：8300真空腔體內潤滑油脂應具有_不揮發(fā)______特性5：清洗臺氫氟酸槽溫度異常主要原因有__熱偶，控制器，水浴加熱等_________6:給3180腔體加熱，真空成__先下降后再回復上升_____變化7：
6、A1000去膠機待機一段時間后即無法打開其原因主要是___粗抽閥內漏____8:A1000去膠機漏率過大主要原因是_腔體前門_____和__石英管底部_____兩處的密封圈需更換9：刻蝕機輝光顏色偏紅主要原因是__有N2氣進入腔體________10:P5000刻蝕機冷卻he做片時漏率過大主要原因是___圓盤無法貼緊電極底座______11:3180濺射臺出現(xiàn)大盤轉動失敗的主要原因有__機械卡死電機問題________12:8300刻蝕機管道中固體沉積物在做清理時用___DI水___浸泡去除13:
7、3180濺射臺小腔體門和舉片架動作快慢通過調節(jié)_氣缸氣路上閥門_____來調節(jié)14：紅色的密封圈含__硅___,特性是___耐高溫____15：A1000去膠機傳片不到位主要調節(jié)_花籃升降臺______,__傳片手臂_____和__載片架____的高度及位置16:濺射臺，刻蝕機長時間開腔后粗抽腔體應___反復抽充N2_______操作17：清洗臺3號液槽溫度異常原因主要有___熱偶，控制器，加熱絲等問題______18:3180及8300冷泵正常工作溫度為___10K_____正常工作時3180表
8、頭指針在___藍__色區(qū)域19：分子泵需要purge氮氣的原因是___防止有害氣體損害泵體_____20：更換有毒氣體MFC時，抽空管道內有毒氣體后，還應該____循環(huán)充抽N2_______三級：軟盤1:3180濺射臺安裝盤包括___2___張_____5英寸軟盤__2:P5000安裝盤包括_5_張___3.5英寸__3:3180換靶時測量靶對地電阻應不小于____100K歐______4:8300DI水水阻大小一般為__>12M歐______5:8300整套傳片手臂包括_3__個
