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《超聲噴霧熱解法zno薄膜的制備與性能研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內(nèi)容在學術論文-天天文庫。
1、浙江大學碩士學位論文摘要本文綜述了ZnO薄膜的各種生長技術及其原理，并概括了ZnO薄膜研究的最新進展。著重介紹了節(jié)能鍍膜玻璃，特別是低輻射鍍膜玻璃的發(fā)展概況，節(jié)能特性、原理、低輻射膜的種類以及常用的制備方法等。本實驗以醋酸鋅水一乙醇混合溶液為前驅體溶液，使用自制的超聲噴霧熱解系統(tǒng)在玻璃基板上制備得到了Zn0薄膜并利用x射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、紫外一可見光光譜儀(UV-VisSpectrometer)等測試手段，對ZnO薄膜的結構和性能進行表征。研究了各種生長條件，如前驅物溶液濃度、去離子水一乙醇比例，襯底溫度和沉積時間等工藝參數(shù)對ZnO薄膜結構和性能的
2、影響。實驗結果表明，適宜的溫度，前驅體濃度是制備出具有優(yōu)良的均勻性和致密性薄膜的關鍵因素。溫度上升有利于制備出C軸取向生長的ZnO薄膜；450。C時，可以沉積出高質(zhì)量C軸擇優(yōu)取向的ZnO薄膜。當把前驅體溶液的濃度從O．1M增加到O．3M，ZnO薄膜的結晶性能越來越好，C軸取向性也越來越大。但是過高的前驅體溶液濃度和襯底溫度卻會降低薄膜的致密性。通過對紫外一可見光譜的分析，發(fā)現(xiàn)ZnO薄膜的可見光區(qū)的透過率同ZnO的微觀結構變化有關。在450。C到500。C，0．3M前驅體溶液濃度下制備出的薄膜均勻致密同時也具有良好的可見光透過率，可以達80％以上。關鍵詞：Zn0；超聲噴霧熱解法
3、；取向生長；可見光透過率浙江大學碩士學位論文AbstractInthispaper,thevarioustechniques，applicatons，andup—to-dateprogressesintheresearchofZnOthinfilmsalereviewed．Wepaidspecialattentiontoitspotentialapplicationinenergysavingcoatingglasses．a(chǎn)briefintroductionincludingthefilmdevelopment，energysavingcharacteristic，types
4、andpreparationmethods．ZnOthinfilmsweregrownontheheatedglasssubstratebytheultrasonicspraypyrolysismethod，zincacetatesolutionsmixedwithethanolwereusedastheprecursornmterial．TheX-rayDiffraction(XRD)，theScanningElectronMicroscopy(SEM)andtheUV-VisSpectrometerwereemployedtoanalyzethecrystallinean
5、dmicrostructureofthethinfilms．TheeffectsofgrowthparametersonthequalityofZnOthinfilms，suchasprecursorsolutionsconcentration，substratetemperatureanddepositiontimearediscussed．Theresultsshowthatthesubstratetemperatureandsolutionconcentrationplayacriticalroleinthefilmdeposition．Samplesthatprepa
6、redfrom0．3Mprecursorsolutionshavethedensesmoothandhomogenousstructureandexhibitthepreferentialorientationof(002)tothesubstratesurfacewhendepositedinthetemperaturearound450。C．Theopticaltestsofthesethinfilmsshowsthatthedensesmoothandhomogenousmicrostructurealsohaveapositiveeffectonthefilmvisi
7、blelighttransmittanceperformances，thefilmsgrownintheabovesituationcouldreachthevisiblelighttransmittanceashighasover80％．Keywords：ZnO；ultrasonicspraypyrolysis(USP)；preferentialorientation；VisibleLightTransmittance浙江大學碩士學位論文第一章引言隨著全球能源消耗的日益增加，節(jié)能已成為當今世界幾大主題
