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《《臺(tái)階儀dektak150用途說明》》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、DEKTAK150臺(tái)階儀海關(guān)報(bào)關(guān)設(shè)備說明***海關(guān)：我公司主要生產(chǎn)超高亮度發(fā)光二極管(LED)外延片和芯片，由于生產(chǎn)所需，需從美國臺(tái)階儀，型號(hào)：DEKTAK150其具體的用途、工作原理及使用說明如下：用途：主要應(yīng)用于我司發(fā)光二極管外延片的薄膜厚度測(cè)量、表面形貌測(cè)量、應(yīng)力測(cè)量和平整度等精密測(cè)量。工作原理和使用說明：DEKTAK150臺(tái)階儀主要應(yīng)用于我司發(fā)光二極管外延片的不同薄膜生長(zhǎng)層（如：GAN，SIC2，AU等）的厚度測(cè)量、表面形貌測(cè)量、應(yīng)力測(cè)量和平整度等精密測(cè)量。其測(cè)量原理是采用觸針法接觸物體表面，通過紀(jì)錄探針在物體表面的垂直位移，并通過與同類物質(zhì)層標(biāo)準(zhǔn)片的量測(cè)對(duì)比計(jì)算做
2、精度校正及應(yīng)力測(cè)量轉(zhuǎn)換，從而達(dá)到測(cè)量物體表面臺(tái)階高度、粗糙度等物理參數(shù)的目的。其主要的技術(shù)指標(biāo)：◆垂直分解能/測(cè)定范圍：0.1nm/6.5μm、1nm/65.5μm、8nm/524μm（選擇：1mm）◆觸壓：1～15mg（選擇：0.03～15ｍｇ）◆測(cè)定再現(xiàn)性（1σ）*：0.6nm以下◆測(cè)定距離：50μm～55mm◆測(cè)定時(shí)間：3～200秒◆最大采樣數(shù)：60,000◆測(cè)定臺(tái)移動(dòng)距離：Ｘ：±50mm,Y：＋75mm、－25mm手動(dòng)θ：360°手動(dòng)◆測(cè)定臺(tái)直徑：150mm◆樣品觀察：視野0.67～4.29mm（514～80倍）色像分析攝像鏡頭◆O/S：WindowsXP（英語版）
3、◆顯示器：17英寸液晶◆外形尺寸：293(W)×510(D)×570mm(H)本體496(W)×674(D)×661mm(H)防風(fēng)罩＊0.1μm測(cè)試片測(cè)定、放置震動(dòng)７０μＧ以下由于LED各種外延層薄膜（GAN，GAAS，SIO2）對(duì)膜厚的精度要求有非常高的要求必須達(dá)到0.1nm/6.5μm、1nm/65.5μm、8nm/524μm精度要求，而目前國內(nèi)尚未提供符合要求的設(shè)備。以下為國產(chǎn)表面輪廓測(cè)量?jī)x的技術(shù)指標(biāo)：2302型表面輪廓測(cè)量?jī)x是一款高精度的大型綜合測(cè)量?jī)x器，包括粗糙度測(cè)量系統(tǒng)、直接輪廓測(cè)量系統(tǒng)和形狀測(cè)量系統(tǒng)。它可以測(cè)量和評(píng)估粗糙度和直接輪廓參數(shù)，還可以測(cè)量角度、圓弧半
4、徑、相互位置等形狀參數(shù)。B.主要技術(shù)指標(biāo)：1、測(cè)量原理：觸針法，電感傳感器2、驅(qū)動(dòng)箱水平滑行范圍：100mm；3、驅(qū)動(dòng)箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s；4、傳感器返回形式：手動(dòng)，自動(dòng)；5、基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性：1μm/任意40mm；6、驅(qū)動(dòng)箱升降：滾動(dòng)絲杠升降系統(tǒng)，機(jī)動(dòng)升降，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位；7、立柱垂直測(cè)量高度： 粗糙度系統(tǒng)：300mm； 形狀系統(tǒng)：240mm;8、工作臺(tái)結(jié)構(gòu)：500mm×620mm大理石平臺(tái)，雙T形槽；9、形狀測(cè)量系統(tǒng)：1)測(cè)量范圍：垂直4/20mm，水平100mm；2)測(cè)量精度：垂直0.3%，水平0.03%；3)垂直分辨力：0.25μm/
5、4mm，1.25μm/20mm；4)水平分辨力：1μm；商編：90308200產(chǎn)地：美國品牌：VEECO型號(hào)：DEKTAK150*********有限公司*****年**月**日
