上虞晶盛單晶爐操作說明書

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1、第一章單晶生長條件1.1設(shè)備要求1.1.1運行條件（以下以TDR-85A-ZJS爐為例，其余爐型要求參照說明書）（1）冷卻水要求水壓：爐子進(jìn)出水壓差要求介于2~3公斤之間，真空泵進(jìn)出水壓差要求1.5公斤以上；爐子進(jìn)水壓力不可超過3.5公斤，爐子上冷卻水安全閥設(shè)置壓力6公斤；水流率：爐子和電源要求供水量不低于250升每分鐘，單獨電源要求供水量不低于20升每分鐘；水溫：推薦進(jìn)水溫度18~24oC，最大不超過25oC；水質(zhì)：弱堿性水，PH值6~9；氯離子含量≤10ppm，碳酸鈣含量≤50ppm；以純凈軟水

2、為好。連接方式：進(jìn)出水管與爐子之間采用軟連接，防止震動傳遞到爐子。（2）壓縮空氣要求氣壓：≥7公斤；推薦在壓縮空氣入口處使用壓力調(diào)節(jié)器。流率：≥2.5升每秒；汽缸容積：主真空球閥：2升；輔助真空球閥：0.5升。（3）電力要求相制：3相AC380V(±10%)/50Hz；功率：≥192KVA。配電柜應(yīng)裝有500V、400V的空氣開關(guān)，和380V/400A的隔離開關(guān)。（4）爐子真空要求空爐真空度：≤15mTorr；空爐泄漏率：≤30mTorr/hr；帶熱場泄漏率：≤50mTorr/hr。（熱場已經(jīng)煅燒完

3、全）1.1.2日常維護（1）坩堝軸驅(qū)動部件的維護保養(yǎng)a、經(jīng)常檢查坩堝軸的冷卻水是否通暢，避免冷卻不充分而損壞坩堝軸；b、每個月對下軸絲杠至少清理一次，每次應(yīng)先清理干凈絲杠和導(dǎo)軌上的油污，加上適當(dāng)（不可太多）潤滑油，然后上下快升降兩次。（2）提拉頭的維護保養(yǎng)a、每次開爐后，檢查鋼絲繩是否損壞（包括變硬、纏松、有嚴(yán)重毛刺等），如有損壞，立即更換；b、鋼絲繩在保管、使用、維修、安裝過程中不能造成任何死彎角，否則在運行過程中會引起抖動。（3）水冷系統(tǒng)的維護保養(yǎng)a、每次加熱前檢查水流量是否充足，確保所有水路沒

4、有堵塞，水溫傳感器運行正常；b、出現(xiàn)水溫或水量報警要查找原因及時處理。（4）翻板閥的維護保養(yǎng)每次裝爐前檢查閥口密封圈是否完好，翻板閥操作是否輕松、無卡滯，底部揮發(fā)物是否打掃干凈，如發(fā)現(xiàn)問題應(yīng)及時排除。（5）真空系統(tǒng)的維護保養(yǎng)a、經(jīng)常檢查泵油，上下腔油均應(yīng)浸過小觀察窗一半。如上泵腔油不夠，應(yīng)及時補新油；下泵腔油不夠，需關(guān)閉球閥，打開左側(cè)閥門，使上泵腔油下到下泵腔，然后關(guān)閉閥門。注意右側(cè)閥門保持常開；b、每次大清，先徹底放盡泵腔內(nèi)的廢油（用手慢慢拉動傳動皮帶，盤出下泵腔內(nèi)的廢油），然后打開上泵腔，清除干

5、凈沉淀油污。最后換上新油；c、每次拆爐時，拆開真空管道所有盲板和波紋管，徹底清掃管內(nèi)的粉塵。第-13-頁1.2輔料要求1.2.1籽晶要求（1）籽晶必須嚴(yán)格按要求每爐拆下進(jìn)行檢查,要求無傷痕、無裂紋；（2）籽晶使用爐數(shù)必須記錄清楚，不清楚的，更換，然后重開記錄；（3）吊渣使用廢舊籽晶，吊渣后換上可使用的籽晶，吊料和拉晶，必須有細(xì)頸，拉晶細(xì)頸直徑要求3-5mm；吊料細(xì)頸直徑要求5-7mm；（4）拉晶過程，要經(jīng)常（頻率不低于1次/10分鐘）觀察液面、晶體等爐內(nèi)狀況，確保坩堝邊緣沒有結(jié)晶，防止籽晶被結(jié)晶扭斷

6、；（5）在籽晶吃重時，升降籽晶轉(zhuǎn)數(shù)，要分多次、小幅度（2轉(zhuǎn)/分）進(jìn)行；（6）籽晶吃重時，快速升、降晶升，不得斷斷續(xù)續(xù)地進(jìn)行，以免籽晶或細(xì)頸處被突然的加速重力或失重折斷或損傷；（7）剪斷籽晶時要在細(xì)頸的最細(xì)處剪斷，要注意用力適當(dāng)，且不許用鉗子扭斷籽晶；否則該籽晶必須停用，交工段送拋光處理；（8）每10爐更換新籽晶；真空差的爐子的籽晶要提前2爐更換。1.2.2石英坩堝要求有下列特征之一者，為不合格，不能使用：（1）磕碰損傷（位于坩堝上沿的微小碰損除外）（2）裂紋（3）嚴(yán)重劃痕（4）氣泡處于內(nèi)壁，并且已經(jīng)

7、開裂（5）直徑≥3mm的氣泡，數(shù)量≥1個（6）直徑<3mm的氣泡，數(shù)量≥5個（7）線度尺寸≥3mm的黑點，數(shù)量≥1個（8）線度尺寸<3mm的黑點，數(shù)量≥5個（9）線度尺寸<3mm的氣泡、黑點，合計數(shù)量≥5個注黑點：處于坩堝內(nèi)壁，液面淹沒線以下的有色雜質(zhì)點；氣泡：處于坩堝內(nèi)壁，液面淹沒線以下，夾在坩堝壁內(nèi)的空洞。1.2.3高純石墨要求（1）外觀檢查結(jié)構(gòu)致密均勻，無裂紋，無空洞等外觀缺陷。（2）純度要求必須是高純石墨，純度>99.99%；（3）灰份含量灰份含量≤300ppm。對于國產(chǎn)高純石墨，如經(jīng)試用合

8、格，可以放寬到灰份含量≤500ppm。1.2.4氬氣要求（1）氣壓：爐子氬氣入口壓力要求介于3.5~5公斤之間；（2）氣體流率：≥275slpm；（3）純度：≥99.999%；推薦在氬氣入口處使用壓力調(diào)節(jié)器。第-13-頁1.3安全要求1.3.1單晶車間的安全事項（1）裝、拆爐時，操作人員要提高安全意識，嚴(yán)禁酒后作業(yè)；（2）已安裝磁場的單晶爐，要注意不要帶磁卡（銀行卡、二代身份證等）靠近。一定不能拿鐵器等導(dǎo)磁性工具，否則強大的磁場會造成人身傷害和設(shè)備損壞；（3）嚴(yán)禁在車