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1、第35卷第4期光學(xué)儀器V01．35，No．42013年8月OPTICALINSTRUMENTSAugust，2013文章編號(hào)：1005—5630(2013)04—0090—05高溫質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)制備工藝研究王騰飛，陳抱雪(1．上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院，上海200093；2．上海理工大學(xué)教育部光學(xué)儀器與系統(tǒng)工程研究中心，上海200093；3．上海理工大學(xué)上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，上海200093)*摘要：研究了一種高溫質(zhì)子交換制備鈮酸鋰光波導(dǎo)的工藝技術(shù)，質(zhì)子源是稀釋的苯甲酸熔融液，通過(guò)提高蒸氣壓的方法實(shí)現(xiàn)了
2、350oC質(zhì)子交換，X線衍射測(cè)試表明波導(dǎo)層具有單純的a相結(jié)構(gòu)。采用該技術(shù)實(shí)驗(yàn)制備了鈮酸鋰Y分支波導(dǎo)，報(bào)告了波導(dǎo)單模特性的測(cè)試判斷方法，研究了控制波導(dǎo)單模傳輸?shù)墓に嚟h(huán)節(jié)。測(cè)試表明，試制樣品在1310nm和1550nm波長(zhǎng)下具有良好的單模傳輸特性。關(guān)鍵詞：導(dǎo)波光學(xué)；鈮酸鋰波導(dǎo)；高溫質(zhì)子交換；相位調(diào)制器中圖分類號(hào)：TN252文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：Adoi：lO．3969／j．issrL1005—5630．2013．04．017Researchofhigh_-temperatureproton--exchangedLiNb03waveguid
3、efabricationtechnologyWANGTeng知i，CHENBaoxue(1．SchoolofOptical—ElectricalandComputerEngineering．UniversityofShanghaiforScienceandTechnology，Shanghai200093，China；2．EngineeringResearchCenterofOpticalInstrumentsandSystems，MinistryofEducationUniversityofShanghaiforScien
4、ceandTechnology，Shanghai200093，China；3．ShanghaiKeyLaboratoryofModemOpticalSystem，UniversityofShanghaiforScienceandTechnology，Shanghai200093，China)Abstract：Experimentalresearchofahigh-temperatureproton-exchangedLiNb03opticalwaveguidefabricationtechnologyiscarriedout
5、．Theprotonexchangesourceisdilutedbenzoicacid．Theprotonexchangeat350℃isachievedbyaprocessofimprovingthevaporpressure．TheX-raydiffractionmeasurementsshowthatthewaveguidelayerisuniforma—phasestructure．LiNbOsY—branchwaveguideisfabricatedwiththistechnology．Thewaveguides
6、ingle-modecharacteristictestjudgmentmethodandthetechnologyconcerningthecontrollingofwaveguidesingle-modetransmissionarealsostudied．Thetestshowsthatthetrailsamplehasgoodsingle-modetransmissioncharacteristicsin1310nmand1550nmwavelangth．Keywords：guidedwaveoptics；LiNb0
7、3waveguide；high—temperatureproton—exchanged；phasemodulator。收稿日期：201301—07基金項(xiàng)目：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61077042、60677032、60967003)；上海市重點(diǎn)學(xué)科(第三期)資助項(xiàng)目($30502)作者簡(jiǎn)介：王騰飛(1988一)，男，山東濱州人，碩士研究生，主要從事光波導(dǎo)與集成光學(xué)方面研究。第4期王騰飛，等：高溫質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)制備工藝研究·91·引言LiNb03材料易于生成較大的透明單晶并具有優(yōu)異的電光、聲光及非線性光學(xué)系數(shù)，材料的化
8、學(xué)性能穩(wěn)定，被廣泛用于制備多種光波導(dǎo)器件[1。2]。1982年Jackel等人首次利用LiNbO。與苯甲酸進(jìn)行質(zhì)子交換制備了光波導(dǎo)[3]，質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)的折射率增量是各向異性的，異常光折射率增大，尋常光折射率略微減小，是一種單偏振的光波導(dǎo)。利用單偏振特性，質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)在光纖陀螺系
