高溫質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)制備工藝研究.pdf

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1、第35卷第4期光學(xué)儀器V01.35,No.42013年8月OPTICALINSTRUMENTSAugust,2013文章編號:1005—5630(2013)04—0090—05高溫質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)制備工藝研究王騰飛,陳抱雪(1.上海理工大學(xué)光電信息與計算機(jī)工程學(xué)院,上海200093;2.上海理工大學(xué)教育部光學(xué)儀器與系統(tǒng)工程研究中心,上海200093;3.上海理工大學(xué)上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海200093)*摘要:研究了一種高溫質(zhì)子交換制備鈮酸鋰光波導(dǎo)的工藝技術(shù),質(zhì)子源是稀釋的苯甲酸熔融液,通過提高蒸氣壓的方法實(shí)現(xiàn)了

2、350oC質(zhì)子交換,X線衍射測試表明波導(dǎo)層具有單純的a相結(jié)構(gòu)。采用該技術(shù)實(shí)驗(yàn)制備了鈮酸鋰Y分支波導(dǎo),報告了波導(dǎo)單模特性的測試判斷方法,研究了控制波導(dǎo)單模傳輸?shù)墓に嚟h(huán)節(jié)。測試表明,試制樣品在1310nm和1550nm波長下具有良好的單模傳輸特性。關(guān)鍵詞:導(dǎo)波光學(xué);鈮酸鋰波導(dǎo);高溫質(zhì)子交換;相位調(diào)制器中圖分類號:TN252文獻(xiàn)標(biāo)識碼:Adoi:lO.3969/j.issrL1005—5630.2013.04.017Researchofhigh_-temperatureproton--exchangedLiNb03waveguid

3、efabricationtechnologyWANGTeng知i,CHENBaoxue(1.SchoolofOptical—ElectricalandComputerEngineering.UniversityofShanghaiforScienceandTechnology,Shanghai200093,China;2.EngineeringResearchCenterofOpticalInstrumentsandSystems,MinistryofEducationUniversityofShanghaiforScien

4、ceandTechnology,Shanghai200093,China;3.ShanghaiKeyLaboratoryofModemOpticalSystem,UniversityofShanghaiforScienceandTechnology,Shanghai200093,China)Abstract:Experimentalresearchofahigh-temperatureproton-exchangedLiNb03opticalwaveguidefabricationtechnologyiscarriedout

5、.Theprotonexchangesourceisdilutedbenzoicacid.Theprotonexchangeat350℃isachievedbyaprocessofimprovingthevaporpressure.TheX-raydiffractionmeasurementsshowthatthewaveguidelayerisuniforma—phasestructure.LiNbOsY—branchwaveguideisfabricatedwiththistechnology.Thewaveguides

6、ingle-modecharacteristictestjudgmentmethodandthetechnologyconcerningthecontrollingofwaveguidesingle-modetransmissionarealsostudied.Thetestshowsthatthetrailsamplehasgoodsingle-modetransmissioncharacteristicsin1310nmand1550nmwavelangth.Keywords:guidedwaveoptics;LiNb0

7、3waveguide;high—temperatureproton—exchanged;phasemodulator。收稿日期:201301—07基金項(xiàng)目:國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61077042、60677032、60967003);上海市重點(diǎn)學(xué)科(第三期)資助項(xiàng)目($30502)作者簡介:王騰飛(1988一),男,山東濱州人,碩士研究生,主要從事光波導(dǎo)與集成光學(xué)方面研究。第4期王騰飛,等:高溫質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)制備工藝研究·91·引言LiNb03材料易于生成較大的透明單晶并具有優(yōu)異的電光、聲光及非線性光學(xué)系數(shù),材料的化

8、學(xué)性能穩(wěn)定,被廣泛用于制備多種光波導(dǎo)器件[1。2]。1982年Jackel等人首次利用LiNbO。與苯甲酸進(jìn)行質(zhì)子交換制備了光波導(dǎo)[3],質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)的折射率增量是各向異性的,異常光折射率增大,尋常光折射率略微減小,是一種單偏振的光波導(dǎo)。利用單偏振特性,質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)在光纖陀螺系

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