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《athlete晶圓植球機新程序建立》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在應用文檔-天天文庫。
1、ATHLETE植球機新程序的建立一，準備工作1，將機臺TABLE改成我們所需要的尺寸，如BL6212為8寸產(chǎn)品，就需要將TABLE更換成8寸，詳細見改機清洗規(guī)范2，檢查球具是否是我們所需要建立程序產(chǎn)品的球具，若焊球成分，大小都相同則無需更換；只要其中有一樣不同就需要更換球具，具體見改機清洗規(guī)范3，更換相應的STENCIL，具體見改機清洗規(guī)范wafer上左右兩個特殊點相對于MAP中心點的坐標；3，MAP中心點分別相對于stencil上左下角球和右下角球的坐標左下角最外側一個球中心為測量STENCIL上第一個對位點一，建立程序1
2、，手自動開關旋至MANUAL檔，按“HOME”進行原點復位2，按“STOP”進入停止狀態(tài)NEWTYPE3，選擇“FILE”右側顯示功能菜單，選擇“NEWTYPE”來進行6’或8’產(chǎn)品原程序的COPY，例如：TI8YRZI8是8寸產(chǎn)品，NEW6是6寸產(chǎn)品4，選擇一個作為拷貝程序后進行程序新建命名，如：輸入BL03EVS85，選擇“RecipeEditor”，然后選擇右側“TYPECHANGE”選擇剛剛所創(chuàng)建的新程序，按“OK”保存，系統(tǒng)載入新程序三，參數(shù)的輸入與修改1，將“TYPEDATA”打開，選擇“OPERATIONDAT
3、A”2，選擇WAFER尺寸和設置片厚參數(shù)3，保存參數(shù)設置4，選擇“WAFERRECOGNITIONPOINT”4，選擇“PRINTINGMOVEMENTSETTING”9，GAPBTWWAFERANDMASK和GAPGAPBTWWAFER&MASK和GAPBTWSUPPORT&MASK這兩個參數(shù)值跟膠量有關，新建程序時可以不改，涂膠后根據(jù)膠量而改。5，在“TYPEDATA”界面底下選擇“PAGEDOWN”進入下一頁，然后選擇“BALLRELEASESETTING”來進行球量設定。6，因為COPY的是8寸程序，所以“BALLR
4、ELEASESETTING”只需修改一片WAFER的球數(shù)由2個植球BRUSH來分配，由于片子是-135°放置，左邊BRUSH分配總球數(shù)X40%，右邊BRUSH分配總球數(shù)X60%四，WAFER與MASK的位置和圖像識別1，將WAFER手動模式傳遞到TABLE上，具體見操作規(guī)范2，返回MANUAL操作的主界面，選擇第三項“TYPEREGISTRATION”。3，選擇“RECOGNITIONPOINTTRANSFER®ISTRATION”4，選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”進行WAFER上識
5、別點位置的移動5，先移動到前面一個識別點的認識位置6，觀察左邊顯示器是否已經(jīng)移動到我們在CAD圖上標識的識別點位置。如圖所示已經(jīng)在特殊DIE（即識別點）附近。7，如果顯示屏上沒有顯示識別點，則需要去觀察識別WAFER的CAMERA當前所在位置，靠近人一側的為識別FRONT點的CAMERA，靠后的是BACK點的CAMERA，見下圖。8，觀察識別點與CAMERA偏差位置后，選擇軟件“TABLEJOGMOVE”9，根據(jù)偏差距離，選擇適當?shù)腏OG量（小鍵盤5為JOG量+，0為JOG量-），然后移動TABLE上（Y+），下（Y-），左
6、（X-），右（X+）。10，利用上述JOGMOVE，將白色十字線移到識別點的標識位置，如圖11，在“TABLEJOGMOVE”中記下當前的X,Y坐標值，如圖X：1145.107Y：84.66012，CANCEL“TABLEJOGMOVE”，再次選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的FRONTPOINT，打開此時的“TABLEJOGMOVE”，記下當前的x’,y’坐標值，例如x’：1144.107，y’：83.660X軸方向的偏差量A=X-x’=1145.107-1144.107=1同理Y方向的
7、偏差量B=Y-y’=84.660-83.660=1。然后選擇“TYPEDATA”中的“WAFERRECOGNITIONPOINT”，將FRONTPOINT的X,Y坐標值分別減去A.，B，保存退出。13，再選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTPOINTTRANSFER”去檢查下補正參數(shù)后的識別點位置是否正確，若正確則進行下一步，反之則再進行以上步驟校準。14，選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“BACKPOINTTRANSFER”15，同樣方法找
8、到BACKPOINT的正確位置16，按“PAGEDOWN”進入下一界面，選擇“RECOGNITIONPATTERNRECOGNITION”17，選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTTRANSFER”18，待移動到waferFRONT識別點后選擇
