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《athlete晶圓植球機(jī)新程序建立》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、ATHLETE植球機(jī)新程序的建立一，準(zhǔn)備工作1，將機(jī)臺TABLE改成我們所需要的尺寸，如BL6212為8寸產(chǎn)品，就需要將TABLE更換成8寸，詳細(xì)見改機(jī)清洗規(guī)范2，檢查球具是否是我們所需要建立程序產(chǎn)品的球具，若焊球成分，大小都相同則無需更換；只要其中有一樣不同就需要更換球具，具體見改機(jī)清洗規(guī)范3，更換相應(yīng)的STENCIL，具體見改機(jī)清洗規(guī)范wafer上左右兩個特殊點相對于MAP中心點的坐標(biāo)；3，MAP中心點分別相對于stencil上左下角球和右下角球的坐標(biāo)左下角最外側(cè)一個球中心為測量STENCIL上第一個對位點一，建立程序1，手自動開關(guān)旋至MANUAL檔，按“H
2、OME”進(jìn)行原點復(fù)位2，按“STOP”進(jìn)入停止?fàn)顟B(tài)NEWTYPE3，選擇“FILE”右側(cè)顯示功能菜單，選擇“NEWTYPE”來進(jìn)行6’或8’產(chǎn)品原程序的COPY，例如：TI8YRZI8是8寸產(chǎn)品，NEW6是6寸產(chǎn)品4，選擇一個作為拷貝程序后進(jìn)行程序新建命名，如：輸入BL03EVS85，選擇“RecipeEditor”，然后選擇右側(cè)“TYPECHANGE”選擇剛剛所創(chuàng)建的新程序，按“OK”保存，系統(tǒng)載入新程序三，參數(shù)的輸入與修改1，將“TYPEDATA”打開，選擇“OPERATIONDATA”2，選擇WAFER尺寸和設(shè)置片厚參數(shù)3，保存參數(shù)設(shè)置4，選擇“WAFER
3、RECOGNITIONPOINT”4，選擇“PRINTINGMOVEMENTSETTING”9，GAPBTWWAFERANDMASK和GAPGAPBTWWAFER&MASK和GAPBTWSUPPORT&MASK這兩個參數(shù)值跟膠量有關(guān)，新建程序時可以不改，涂膠后根據(jù)膠量而改。5，在“TYPEDATA”界面底下選擇“PAGEDOWN”進(jìn)入下一頁，然后選擇“BALLRELEASESETTING”來進(jìn)行球量設(shè)定。6，因為COPY的是8寸程序，所以“BALLRELEASESETTING”只需修改一片WAFER的球數(shù)由2個植球BRUSH來分配，由于片子是-135°放置，左邊
4、BRUSH分配總球數(shù)X40%，右邊BRUSH分配總球數(shù)X60%四，WAFER與MASK的位置和圖像識別1，將WAFER手動模式傳遞到TABLE上，具體見操作規(guī)范2，返回MANUAL操作的主界面，選擇第三項“TYPEREGISTRATION”。3，選擇“RECOGNITIONPOINTTRANSFER®ISTRATION”4，選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”進(jìn)行WAFER上識別點位置的移動5，先移動到前面一個識別點的認(rèn)識位置6，觀察左邊顯示器是否已經(jīng)移動到我們在CAD圖上標(biāo)識的識別點位置。如圖所示已經(jīng)在特殊DIE（即識別點）
5、附近。7，如果顯示屏上沒有顯示識別點，則需要去觀察識別WAFER的CAMERA當(dāng)前所在位置，靠近人一側(cè)的為識別FRONT點的CAMERA，靠后的是BACK點的CAMERA，見下圖。8，觀察識別點與CAMERA偏差位置后，選擇軟件“TABLEJOGMOVE”9，根據(jù)偏差距離，選擇適當(dāng)?shù)腏OG量（小鍵盤5為JOG量+，0為JOG量-），然后移動TABLE上（Y+），下（Y-），左（X-），右（X+）。10，利用上述JOGMOVE，將白色十字線移到識別點的標(biāo)識位置，如圖11，在“TABLEJOGMOVE”中記下當(dāng)前的X,Y坐標(biāo)值，如圖X：1145.107Y：84.66
6、012，CANCEL“TABLEJOGMOVE”，再次選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的FRONTPOINT，打開此時的“TABLEJOGMOVE”，記下當(dāng)前的x’,y’坐標(biāo)值，例如x’：1144.107，y’：83.660X軸方向的偏差量A=X-x’=1145.107-1144.107=1同理Y方向的偏差量B=Y-y’=84.660-83.660=1。然后選擇“TYPEDATA”中的“WAFERRECOGNITIONPOINT”，將FRONTPOINT的X,Y坐標(biāo)值分別減去A.，B，保存退出。13，再選擇“WAFERRECO
7、GNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTPOINTTRANSFER”去檢查下補(bǔ)正參數(shù)后的識別點位置是否正確，若正確則進(jìn)行下一步，反之則再進(jìn)行以上步驟校準(zhǔn)。14，選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“BACKPOINTTRANSFER”15，同樣方法找到BACKPOINT的正確位置16，按“PAGEDOWN”進(jìn)入下一界面，選擇“RECOGNITIONPATTERNRECOGNITION”17，選擇“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTTRANSFER”18，待移動到wafe
8、rFRONT識別點后選擇
