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《氧化銅-鋯復合膜的制備與性能表征研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在學術論文-天天文庫。
1、南京理工大學碩士學位論文氧化銅-鋯復合膜的制備與性能表征研究姓名：崔慶華申請學位級別：碩士專業(yè)：軍事化學與煙火技術指導教師：沈瑞琪20070601摘要本文采用金屬zr靶和CuO陶瓷靶，利用磁控濺射法制備了zr薄膜和CuO薄膜，研究了不同工藝條件對薄膜質量性能和制備薄膜的沉積速率的影響，得到了zr薄膜和CuO薄膜的最佳制備工藝條件。利用掃描電子顯微鏡(sEM)、能譜分析(EDs)、X射線衍射儀(XKD)等分析手段對薄膜的微觀形貌、成分和相組成進行了研究，結果表明制各的薄膜光滑致密，成分和靶材基本一致．薄膜均為晶相結構。在最佳工藝條件下制備了zr
2、薄膜、CuO薄膜和CuO-Zr復合膜，并對薄膜進行了光聲光譜的檢測和分析。結果表明zr薄膜、CuO薄膜和CuO-Zr復合膜的光聲波譜的波形基本上一樣。先出現一個負峰，然后出現一個正峰。隨著入射激光束能量的升高，同種薄膜的光聲波譜的峰值增大。在相同入射激光束能量下，CuO薄膜的光聲波譜的峰值大于Zr薄膜的：CuO-Zr復合膜的光聲波譜的峰值大于zr薄膜和CuO薄膜的，峰值間的差值為zr和CuO之問發(fā)生的氧化還原反應產生的熱量所致。關鍵詞：磁控濺射復合膜光聲光譜反應性光聲譜ABSTRACTThisthesisisattemptingtoprove
3、thatthebestpreparationconditionshavebeenachievedfromtheexperimentsontheeffectsofthedifferentoperatingconditionsOntheperformaneesofthefilmsanddepositionrate．TheseexperimentsadoptedmetallicZrtargetandceramicCuOtargettopreparezrfilmsandCuOfilmsbymeansofmagnetronsputtering．Them
4、orphology,chemicalcompositionandphaseconstitutionofthepreparedfilmswereanalyzedthroughSEM．EDSandXRD．Tberesultsshowthatthefilmsweresmooth,thatthechemicaleompositiunsofthefilmsWerebasic．aUythe愛蚰easthoseofthetargets．andthattbefilmswgqrecrystal．111cphotoacousticspectrumsofZrfil
5、ms。CuOfilmsandCuO-Zrfilmswhich、黼preparedunderthebestpreparationconditions，wereexaminedandanalyzed．ⅡleresultsshowthatthephotoacoustiespectrumsofthesefilmsWerebasicallythesa．tnewithanegativewavecrestcomingfirstandthenapositiveone．Forthesamefilm，thepeakvalueofthephotoaenusties
6、pectrumlosewiththeincreaseofthelaserenergy．ExposedtOthesanleamountoflasererlergy,thepeal【valueoftheCuOfilmWasgreaterthanthatoftheZrftlm,andthepeal【valueoftheCuO-Zrfilmwasgreaterthanthatofthesinglefilm。Thedifferencesofthepeakvalueswereprovedtoberesultingfromtheebemiealreacti
7、onheatbetweentheZrfilmandtheCuO6lm．Keyword：magnetronsputtering,compoundti／m,photoacoustiespectrum,reactivityphotoacoustiespl∞tl'umⅡ聲明本學位論文是我在導師的指導下取得的研究成果，盡我所知，在本學位論文中，除了加以標注和致謝的部分外，不包含其他人已經發(fā)表或公布過的研究成果，也不包含我為獲得任何教育機構的學位或學歷而使用過的材料。與我一同工作的同事對本學位論文做出的貢獻均已在論文中作了明確的說明。研究生簽名：年月日學
8、位論文使用授權聲明南京理工大學有權保存本學位論文的電子和紙質文檔，可以借閱或上網公布本學位論文的部分或全部內容，可以向有關部門或機構送交并授權其保存、借閱或上網公布
