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《納米壓印設(shè)備的優(yōu)化改進(jìn)》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、碩士學(xué)位論文納米壓印設(shè)備的優(yōu)化改進(jìn)OPTIMALIMPROVEMENTONNANOIMPRINTEQUIPMENT于夢楠哈爾濱工業(yè)大學(xué)2016年7月國內(nèi)圖書分類號：TH741學(xué)校代碼：10213國際圖書分類號：681密級：公開工程碩士學(xué)位論文納米壓印設(shè)備的優(yōu)化改進(jìn)碩士研究生：于夢楠導(dǎo)師：金鵬教授申請學(xué)位：工程碩士學(xué)科：儀器儀表工程所在單位：超精密光電儀器工程研究所答辯日期：2016年7月授予學(xué)位單位：哈爾濱工業(yè)大學(xué)ClassifiedIndex:TH741U.D.C:681DissertationfortheMasterD
2、egreeinEngineeringOptimalImprovementOfNanoimprintEquipmentCandidate：YuMengnanSupervisor：Prof.JinPengAcademicDegreeAppliedfor：MasterofEngineeringSpeciality：InstrumentandMeterEngineeringDepartmentofAutomaticAffiliation：MeasurementandControlstDateofDefence：July1,2016
3、Degree-Conferring-Institution：HarbinInstituteofTechnology哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文摘要如今納米技術(shù)在生活中得到廣泛的應(yīng)用，與之相關(guān)的納米加工技術(shù)也越來越受到人們的重視。傳統(tǒng)的光刻技術(shù)由于分辨率和價(jià)格等原因限制，其發(fā)展已到瓶頸，而在上世界九十年代產(chǎn)生的納米壓印技術(shù)使科研人員找到了納米加工技術(shù)的新方法。在這二十年間，經(jīng)過科研人員的不斷完善，納米壓印技術(shù)形成了較為系統(tǒng)的體系，使得納米壓印技術(shù)走向商業(yè)化、工業(yè)化成為可能。本文以本課題組原有納米熱壓印設(shè)備為基礎(chǔ)，通過分析納
4、米壓印過程中所表現(xiàn)的不足，以及查閱國內(nèi)外相關(guān)技術(shù)的發(fā)展，設(shè)計(jì)了具有實(shí)時監(jiān)控的溫度控制系統(tǒng)，并對原有硬件和軟件系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，使原有設(shè)備的性能和穩(wěn)定性得到了提升。本文以納米壓印設(shè)備的優(yōu)化和改進(jìn)為目的，主要完成以下工作：（1）設(shè)計(jì)了集加熱、冷卻和溫度采集功能于一體的溫控板，通過對其內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù)的計(jì)算以及仿真完成其功能的驗(yàn)證；（2）對于溫度控制系統(tǒng)的硬件進(jìn)行了篩選和計(jì)算，選擇出合適的芯片和材料構(gòu)建系統(tǒng)，包括使用K型熱電偶和AD595實(shí)現(xiàn)溫度采集，使用光耦芯片、固態(tài)繼電器和加熱棒實(shí)現(xiàn)加熱功能，使用L293D和水泵實(shí)現(xiàn)冷卻功能；
5、（3）使用Labview軟件編寫上位機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了溫度的實(shí)時采集和控制，使得控制界面更加人性化；（4）通過使用PID算法實(shí)現(xiàn)了對溫度的準(zhǔn)確調(diào)控；（5）重新設(shè)計(jì)設(shè)備的硬件控制箱，提高其抗干擾能力；（6）進(jìn)行了溫度和壓印實(shí)驗(yàn)，對系統(tǒng)的功能性和穩(wěn)定性進(jìn)行了驗(yàn)證。關(guān)鍵詞：納米壓??；溫度控制；優(yōu)化改進(jìn)-I-哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractNowadays,nanotechnologyhavebeenappliedinvariousareasinlife,nanoFabricationTechnologyrelatedw
6、ithitwillbevaluedmore.Thedevelopmentoftraditionalphotolithographytechniquehavebeenhamperedbytheresolutionandpriceetc.Becauseofthat,thenanoimprintemergedinthe19thshouldbethetechnologytobreakthelimitation.Duringthetwodecades,withtheperfectedofthistechnology,thenanoi
7、mprinthasbecomingascientificsystem,driventhecommercializationandindustrializationtobecomepossible.Thispaperisbasedontheoriginalnanoimprintinstrumentinourgroup.Throughanalyzingoftheimperfectionemergedinthenanoimprintprocess,andinvestigationofthetechnologydevelopmen
8、trelatedtotheprocess,wedesignedtherealtimemonitoringtemperaturecontrolsystem.Wealsoimprovethehardwareandthesoftwareoftheoriginalsystem,whichincreasethes
