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《摻氟金屬錫靶材的制備與研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、河北聯(lián)合大學(xué)輕工學(xué)院QINGGONGCOLLEGE,HEBEIUNITEDUNIVERSITY畢業(yè)論文設(shè)計（論文）題目：摻氟金屬錫靶材的制備與研究學(xué)生姓名：學(xué)號：專業(yè)班級：學(xué)部：材料化工部指導(dǎo)教師：2012年05月20日摘要摻氟二氧化錫導(dǎo)電玻璃（簡稱FTO玻璃）可以做為ITO導(dǎo)電玻璃的替換用品，廣泛用于液品顯示屏，光催化，薄膜太陽能電池基底等方而，市場需求極大。目前生產(chǎn)這種薄膜的主要方法是磁控濺射法。靶材的質(zhì)量對生產(chǎn)出透光率高、導(dǎo)電率好的FTO薄膜至關(guān)重要。本論文采用粉末冶金法制備FTO靶材，將配制的高純度的混合粉末（氟和二氧化錫比例分別為5:95>10:
2、90和20:80）研磨十分鐘,裝入冷壓模（0）30mm）中單向壓結(jié)，于一定壓力下（2?55Mpa）、保壓2?10min壓制成形，脫模后將壓坯至于真空爐屮（極限相對真空度-0.095MPa）,在低于基木材料熔點的溫度下進(jìn)行燒結(jié)（加熱）。主耍研究了摻氟量、燒結(jié)溫度、燒結(jié)時間對試樣微觀形貌、組織結(jié)構(gòu)和致密度的影響。通過對致密度的測定和金相顯微組織的觀察分析，確定出最佳的摻氟量、燒結(jié)溫度和燒結(jié)時間。實驗結(jié)果表明摻氟量5%,燒結(jié)溫度150°C、燒結(jié)時間60min這組參數(shù)制備的靶材致密度最高。隨摻氟量、燒結(jié)溫度、燒結(jié)時間的增加，晶粒尺寸不斷增大。關(guān)鍵詞：FTO,靶材，
3、粉末冶金，金相AbstractFluorine-dopedtinoxideconductiveglass(FTO)canbeusedasITOconductiveglassreplacement,widelyusedinliquidcrystaldisplay5photocatalysis,thinfilmsolarcellsubstrate.Atpresent,theproductionofthisfilmisthemethodofmagnetronsputtering.Targetqualitytoproducehightransmittance,go
4、odconductivityofFTOfilmiscritical.Atthisdissertation,powdermetallurgyhavebeenusedfortargetmateria1.Preparationofhighpuritymixedpowder(theratiois5:9.5andl:9and2:8)grindingtenminutes,thenputitintomouldandUnidirectionalpressurenode.Atsomepressure(2-55Mpa)keeppressure2?10minandPressfo
5、rming,AfterreleaseDieandputtheblankintheVacuumfurnace(limitRelativeDegreeofvacuum?0?095MPa)Sinteringatthetemperaturewhichbelowthemeltingpointofthebasicmaterial.WediscussedtheinfectionofContentofFluorin、TemperatureandTimetoDensity.ThenconfirmthebestContentofFluorin、TemperatureandTi
6、me,throughDensityandMetallographicmicrostructure.Andresearchthesample'smicrostructureandcomposition.TheexperimentalresultsshowthatFluorinedopedvolume5%temperature150°Candheatingtime60mincanmakethehigherdensity.WiththeContentofFluorin、TemperatureandTimeincrease,thegrainsizewillincr
7、ease.Keywords:FTO,Target,Powdermetallurgy,Metallographicmicrostructure目錄摘要IABSTRACTII第1章緒論11.1靶材的概況1L1.1靶材的分類11.1.2靶材的性能31.1.3靶材的制備工藝31」.4靶材的研究特點及發(fā)展趨勢41.2FTO透明導(dǎo)電玻璃的研究現(xiàn)狀、應(yīng)用及發(fā)展趨勢5121FTO透明導(dǎo)電玻璃的研究現(xiàn)狀51.2.2FTO透明導(dǎo)電玻璃的應(yīng)用71.2.3FT0透明導(dǎo)電玻璃的發(fā)展趨勢81.3粉末冶金技術(shù)91.3.1粉末冶金特點91.3.2粉末冶金技術(shù)國內(nèi)外現(xiàn)狀和市場需求91.4本
8、論文的研究目的及實驗方法121.4.1研究目的121.4.2實驗基
