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《溶膠—凝膠法制備摻鋁氧化鋅靶材研究.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、ClassifiUDC：PrMay，2011西華大學學位論文獨創(chuàng)性聲明作者鄭重聲明：所呈交的學位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下進行研究工作所取得的成果。盡我所知，除文中已經(jīng)注明引用內(nèi)容和致謝的地方外，本論文不包含其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表的研究成果，也不包含其他已申請學位或其他用途使用過的成果。與我一同工作的同志對本研究所做的貢獻均已在論文中做了明確的說明并表示了謝意。若有不實之處，本人愿意承擔相關(guān)法律責任。學位論文作者簽名：彥．7辦。日期：7／"11．莎·，D指導(dǎo)教師簽名：翻勇(／壘幸蒜戍夕日期：知ff．‘·，口西華大學學位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學位論文作者完全了解學校有關(guān)保留
2、、使用學位論文的規(guī)定，在校攻讀學位期間論文工作的知識產(chǎn)權(quán)屬于西華大學，同意學校保留并向國家有關(guān)部門或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借閱，西華大學可以將本論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)印手段保存和匯編本學位論文。(保密的論文在解密后遵守此規(guī)定)學位論文作者簽名：彳·7眾指導(dǎo)教師簽名：姍勇∽蔓乳尊戊)Et期：凇，z多．，口Et期：知ff．<．10西華大學碩士學位論文摘要AZO(摻鋁氧化鋅，A1-ZnO)靶材質(zhì)量是影響濺射法制備薄膜的關(guān)鍵因素之一。AZO靶材主要制備工藝有常壓燒結(jié)、熱等靜壓燒結(jié)及真空燒結(jié)等。熱等靜壓燒結(jié)
3、、真空燒結(jié)兩種工藝制備出的靶材性能較好，但靶材形狀及尺寸受限且工藝復(fù)雜、生產(chǎn)成本高、效率低。采用溶膠．凝膠工藝有利于得到成分均勻、顆粒形態(tài)和粒徑等可控的摻鋁氧化鋅復(fù)合粉體，并可采用無機鹽作為原料以降低成本，因此有較高的推廣應(yīng)用價值。本文采用溶膠．凝膠法合成了摻鋁氧化鋅復(fù)合粉體，用常壓燒結(jié)制備出電阻率較低、致密度較高的AZO靶材。研究了絡(luò)合劑種類及用量、反應(yīng)溫度、pH值、干燥溫度等因素對粉體形態(tài)及靶材性能的影響，分析了球磨及燒結(jié)制度對靶材微觀組織的作用，與固相反應(yīng)法制備的靶材進行了對比。結(jié)果表明，控制溶膠二凝膠的制備工藝參數(shù)可以得到燒結(jié)性能良好的粉體，濕法球磨能減少粉體團
4、聚，提高靶材密度；隨成型壓力提高靶材致密度先升后降，電阻率變化則相反；增加燒結(jié)保溫時間，晶粒尺寸變大，致密度提高緩慢，電阻率變化較?。徊捎?MPa成型壓力，在1250"C燒結(jié)lh，可以得到致密度達99．2％，電阻率約2×10七Q·cm的靶材。關(guān)鍵詞：AZO靶材；溶膠．凝膠法；致密度；電阻率溶膠一凝膠法制備摻鋁氧化鋅靶材研究AbstractTheperformanceofAZO(aluminumdopedzincoxides，A1-ZnO)targetsisoneoftheimportantfactorswhmhaffetsthepropertiesofthinfilms
5、preparedbYmagnetronsputteredmethod．Pressurelesssintering，hotisostaticpressingsinteringandvacuumsinteringarethemainmethodsforpreparationofAZOtargets．AZOtargetspreparedwithhotisostaticpressingsinteringmethodandvacuumsinteringmethodhavebetterperformance，butthesizeandshapeofthesestargetshave
6、beenlimited,andthecomplexprocessingleadslowerefficiencyandhigherproductioncost．Aluminumdopedzincoxidespowderpreparedsol-gelmethodhasbetteruniformityofcomposition,bettercontrollabilityofshapeandsize，andevenlowerproductioncostbyusinginorganicmaterials，thereforeithashighapplicablevalue．Inth
7、ispaper,aluminumdopedzincoxidespowdershasbeensynthesizedbysol—gelmethodandAZOtargetwithlowresistivityandhighrelativedensitypreparedbypressurelesssinteringroute，effectsofcomplexingagent，reactiontemperature，pHvalueanddryingtemperatureonthemorphologyofpowder,effectsofballmil
