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1、第29卷第5期計算機(jī)仿真2012年5月文章編號：1006—9348(2012)05—0103—04衍射光柵機(jī)械刻劃過程的有限元仿真分析石廣豐，史國權(quán)，張壘壘．姜偉平(長春理工大學(xué)．吉林長春130022)播要：研究關(guān)于衍射光柵機(jī)械刻劃的槽彤精度控制問題。衍射光柵機(jī)械刻劃是一種在超精密刻劃機(jī)上利用金剮石刀具對光柵鋁膜進(jìn)行微細(xì)擠壓的成彤技術(shù)．表面成彤精度要求島。但是由于光柵機(jī)械刻劃下藝復(fù)雜．刻劃過程中鋁膜材料的成形機(jī)理難以掌握．內(nèi)部流動規(guī)律和變彤特征無法認(rèn)識。為了解決上述悶題。首先根據(jù)鍛膜壓痕實(shí)驗(yàn)建忘擬實(shí)條件．在Deform3D金屬成形仿真環(huán)境_F通過實(shí)體模型導(dǎo)人時的縮小比例功能實(shí)現(xiàn)尖
2、劈別劃刀的微刃n建模，并建立了機(jī)械刻劃光柵鋁膜的有限無仿真模型。通過和實(shí)驗(yàn)槽彤結(jié)果的對比，驗(yàn)證r仿真模型的精確性，最終獲得了銷膜材料在刻刀及其刀尖鈍圓作用下的流動規(guī)律．揭示了機(jī)械刻劃光柵過程中鋁膜的撣耀性變形特征，為衍射光柵機(jī)械刻劃工藝的研究提供r依據(jù)。美鍵詞：衍射光柵：機(jī)械剔劃：有限元：流動規(guī)律中圖分類號：THl28文獻(xiàn)標(biāo)識碼：BFiIliteElementSimulationAnalysisofMechanicalRulingofDiffractionGratingSHIGuang—feng，SHIGuo—quan，ZHANGLei—lei，JIANGWei-ping(Cha
3、ngehunUniversityofScienceandTechnology，ChangchunJilin130022，China)ABSTRACT：Thispaperstudiedtheprecisecontrolofgratinggroovebymechanicalruling．Mechanicalrulingisamicroextrusionformingtechnologyofforcinggratingaluminiumfilmtogenerategroovesbydiamondrulingcutteronsuperprecisionrulingengine。whose
4、formingprecisiondemandishigh．Butbecauseofthecomplextechnics，theformingmechanismofgratingmechanicalrulingisdifficulttobemastered，besides，theinnerflowingregularityanddeformationcharacteristicsofthegratingaluminiumfilmhavenotbeenunderstood．Inthispaper，theedgenoseradiusoftherulingcutterwasfirstre
5、alizedbyreductionscalingfunctionwhenimportedintoDeform3Dsoftware．a(chǎn)ndafi—niteelementmodelofmechanicalrulinggratingaluminiumfilmwa$setuPbasedonthealuminiumfilmindentationexperimentsforreliablesimulation，whichv'alidatedtheprecisionofthesimulationmodelcomparedwiththeexperi—meritresults．Finally，th
6、eflowingregularityofthealuminiumfilmformedbytherulingcutteranditsedgenosewaSgained，whichrevealthealuminiumfilmnatureofelasto-plasticdefimnalionduringgratingmechanicalruling．Theworkinthispaperlaysafoundationfortechnicsresearchofmechanicalruling．grating．KEYWORDS：Diffractiongrating；Mechanicalrul
7、ing；Finiteelement；Flowingregularityl引言衍射光柵機(jī)械刻劃是由超精密光柵刻劃機(jī)帶動會剛石刻劃刀在鍍有鋁膜的玻璃、無氧銅或不銹鋼等基底上刻劃出來的。在這個過程中不產(chǎn)生切屑，因此衍射光柵機(jī)械刻劃是一種微細(xì)三維擠壓成形工藝。和全息、復(fù)制等制作方法相比，機(jī)械刻劃方法是制作原刻母版光柵的主耍療法，對于低基金項(xiàng)目：國家自然基金資助項(xiàng)目(51075042)；吉林省科技發(fā)展計劃項(xiàng)目(20080534)；長春理工大學(xué)校內(nèi)基金項(xiàng)目(2021000422)收稿日期：2
