資源描述：
《光柵刻劃?rùn)C(jī)刻劃系統(tǒng)光機(jī)電集成優(yōu)化方法研究.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫(kù)。
1、第41卷第3期湖南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)Vo1．41，No．32O14年3月JournalofHunanUniversity(NaturalSciences)Mar_2014文章編號(hào)：1674—2974(2014)03—0043—06光柵刻劃?rùn)C(jī)刻劃系統(tǒng)光機(jī)電集成優(yōu)化方法研究申遠(yuǎn)，王俊杰。，竺長(zhǎng)安，齊向東。(1．中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機(jī)械與精密儀器系，安徽合肥230027；2．合肥師范學(xué)院電子信息工程學(xué)院，安徽合肥230601；3．中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所，吉林長(zhǎng)春130033)摘要：針對(duì)大面積衍射
2、光柵刻劃?rùn)C(jī)在宏觀尺度下進(jìn)行微納加工的工作特點(diǎn)以及納米級(jí)刻線檢測(cè)困難的問(wèn)題，提出了一種光機(jī)電集成優(yōu)化方法．此方法采用計(jì)算傅里葉光學(xué)和弦振動(dòng)理論進(jìn)行光柵刻線誤差分析，結(jié)合振動(dòng)實(shí)驗(yàn)及光學(xué)測(cè)量進(jìn)行驗(yàn)證，最后采用智能優(yōu)化方法對(duì)刻劃系統(tǒng)進(jìn)行結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化．虛擬樣機(jī)仿真結(jié)果表明，刻劃系統(tǒng)的振動(dòng)幅度降低了3O，驗(yàn)證了該集成優(yōu)化方法的有效性．關(guān)鍵詞：光柵刻劃?rùn)C(jī)；光機(jī)電集成優(yōu)化；計(jì)算傅里葉光學(xué)；智能優(yōu)化中圖分類號(hào)：TH122文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：AResearchonOpto—MechatronicsIntegrationOptimizat
3、ionMethodoftheScatchSystemoftheGratingRulingMachineSHENYuan·計(jì)，WANGJun-jie。，ZHUChang—an，QIXiang—dong。(1．DeptofPrecisionMachineryandInstrumentation，UnivofScienceandTechnologyofChina，Hefei。Anhui230027-China；2．SchoolofElectronicsandInformationEngineering。HefeiN
4、ormalUniv，Hefei-Anhui230601，China；3．ChangchunInstituteofOptics，F(xiàn)ineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun-Jilin130033。China}Abstract：Toaddresslargediffractiongratingrulingenginescharacteristicsofmicronanoprocessingatthemacroscopicscaleandtos
5、olvetheproblemofnanometerscaledetection，thispaperproposedameth—odofopto—mechatronicsintegrationoptimization．Firstly．computationalFourieropticsandthetheoryofstringvibrationwereusedinerroranalysis．Then，theanalysisresultswereverifiedbyvibrationtestandopticalme
6、asurement．Finally，intelligentoptimizationmethodswereusedtooptimizestructuralparame—ters．Thevalidityoftheopto—mechatronicsintegrationoptimizationhasbeenverifiedbysireu1atingavirtu—alprototype，whichhasshownthatthevibrationamplitudeoftheScatchSystemhasreducedb
7、y30．Keywords：gratingrulingmachine；opto～mechatronicsintegrationoptimization；computationalFourieroptics；intelligentoptimmation收稿日期：2013-09-i0基金項(xiàng)目：“十一五”國(guó)家科技支撐計(jì)劃重大項(xiàng)目(2006BAK03A02)；國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目(ZBYZ2008～1)；中央高?；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(WK2090090010)；安徽省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(1308085Q
8、E92)；合肥師范學(xué)院人才基金資助項(xiàng)目(2013RCJJ04)作者簡(jiǎn)介：申遠(yuǎn)(1985一)，男，湖南懷化人，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士后，合肥師范學(xué)院講師十通訊聯(lián)系人，E-mail：shenyuan@ustc．edu．en44湖南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)光柵制造技術(shù)作為當(dāng)今最為精密的技術(shù)之一，機(jī)結(jié)構(gòu)優(yōu)化的時(shí)候結(jié)合光學(xué)分析和實(shí)驗(yàn)測(cè)量進(jìn)行集使得光柵刻劃?rùn)C(jī)被稱為“精密機(jī)械之王”口]．光柵刻成優(yōu)化，總體的流程如圖2
