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《光柵刻劃刀架系統(tǒng)參數(shù)對光柵刻線彎曲影響》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、第34卷第6期長春工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)Vo1．34No．62013年12月JournalofChangchunUniversityofTechnology(NaturalScienceEdition)Dec．2O13光柵刻劃刀架系統(tǒng)參數(shù)對光柵刻線彎曲影響馮樹龍(中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所，吉林長春130033)摘要：研究了光柵刻劃刀架系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、重量及其穩(wěn)定性對光柵性能指標(biāo)的影響。有限元分析表明，對刻劃刀架系統(tǒng)中的刻劃刀架進(jìn)行減重或使刻劃刀架系統(tǒng)兩側(cè)的重量對稱，均可降低光柵刻線彎曲。光柵刻劃對比實(shí)驗(yàn)結(jié)果表
2、明，配重側(cè)有配重塊的刻劃刀架系統(tǒng)與配重側(cè)無配重塊的刻劃刀架結(jié)構(gòu)相比，刻線彎曲幅值由91．2nm降低至58．9nm，這與有限元分析結(jié)果在趨勢上較為一致。關(guān)鍵詞：光柵刻劃機(jī)；刀架系統(tǒng)；刻線彎曲中圖分類號：O433．4文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A文章編號：1674—1374(2013)06—0635—05InfluenceoftheparametersofagratingrulingtoolsystemongratinglinebendFENGShu—long(ChangchunInstituteofOptics，F(xiàn)ineMechanics
3、andPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changehun130033，China)Abstract：Influenceofsomeparameterssuchasstructuralsymmetry，weightandstabilityofgratingrulingtoolsystemsongratingqualityisstudied．Wefindthatreducingtheweightofrulingtoolandmakingitsymmetryonbothsidecandecre
4、asethebendofgratinglinewithfiniteelementanalysismethod．Theexperimentalresultsshowthatshowsthatthebendattitudegofrom91．2nmdownto58．9nmwhenthecounterweightisadded，whichisaccordancewiththetheoreticalresults．Keywords：gratingrulingmachine；rulingtoolsystem；bendofline．。
5、引言裝星募耋呈衍射光柵在其應(yīng)用的初期，主要用于實(shí)現(xiàn)復(fù)光學(xué)、天文學(xué)、光通訊、信息處理、激光能量調(diào)制和色光的色散功能。近年來，隨著科技的不斷發(fā)展，慣性約束激光核聚變等領(lǐng)域也具有著十分廣泛的衍射光柵的分束、偏振和相位匹配等光學(xué)性能已應(yīng)用，而且衍射光柵的應(yīng)用領(lǐng)域正在被不斷地收稿日期：2013-09—10基金項(xiàng)目：國家重大科研裝備研制項(xiàng)目(ZBYZ2008—1)作者簡介：馮樹龍(1973一)，男，漢族，遼寧葫蘆島人，中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所副研究員，博士，主要從事光學(xué)儀器設(shè)計(jì)、精密機(jī)械設(shè)計(jì)、加工及檢測等方面的研究工作
6、，E—mail：topfsl@126．corn．第6期馮樹龍：光柵刻劃刀架系統(tǒng)參數(shù)對光柵刻線彎曲影響639domainfrom2．2to4．3m[J]．AppliedOptics，[11]RGeorgeHarrison．TheDiffractionGrating-An2006，45(21)：5191-5206．OpinionatedAppraisal[J]．AppliedOptics，1973，[8]營建新，馮樹龍．一種光柵刻劃機(jī)刀架等速運(yùn)動的12(9)：2039-2048．新結(jié)構(gòu)[J]．長春工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)：自然科學(xué)版，2
7、012，[12]張亮．立式電解加工機(jī)床關(guān)鍵部件有限元分析與33(4)：402—406．優(yōu)化[D]：[碩士學(xué)位論文]．合肥：合肥工業(yè)大學(xué)，[9]楊德才．中階梯光柵及其應(yīng)用[J]．現(xiàn)代科學(xué)儀器，2009．1992(4)：29-31．[13]李曉天．機(jī)械刻劃光柵刻線誤差及其修正方法研[1O]唐玉國，陳少杰，巴音賀希格，等．中階梯光柵光譜究[D]：[博士學(xué)位論文]．長春：中國科學(xué)院長春光儀的譜圖還原與波長標(biāo)定[J]．光學(xué)精密工程，學(xué)精密機(jī)械與物理研究所，2013．2O10，l8(10)：2卜33．
