石英坩堝檢驗規(guī)范.doc

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1、1.目的為指導石英坩堝檢驗作業(yè)活動，特制訂本規(guī)范。2.適用范圍本規(guī)范適用于單晶生長使用。3.外觀檢測要求表面平整，無裂紋、無崩邊、無缺角等外觀缺陷。4.抽樣方案4.1廠內(nèi)進料檢驗：抽檢產(chǎn)品的關(guān)鍵尺寸；關(guān)鍵尺寸參照圖紙；抽樣依MIL-STD-105E之S-Ⅱ，AQL為2.5。4.2外出檢驗要求：全檢5.檢驗項目（廠內(nèi)進料檢驗）5.1尺寸項目18寸石英坩堝20寸石英坩堝22寸石英坩堝工具厚度10±0.5mm11±1mm12±2mm核對廠家報告單外徑456（+3/-2）mm504（+3/-2）mm556（+3

2、/-2）mm卡尺5.2包裝要求5.2.1每批產(chǎn)品出廠時應附有相應的品質(zhì)檢驗報告。5.2.2檢驗報告書上應寫明產(chǎn)品名稱、規(guī)格、數(shù)量、生產(chǎn)日期、制造廠名、商標和產(chǎn)品標準號。5.3檢驗步驟5.3.1收到廠家檢查報告單。5.3.2檢驗外徑5.3.3將檢查后的合格坩堝用原紙箱蓋好，做好相應標示；不合格的坩堝單獨存放，并做好包裝和標示，5.3.4填寫輔材檢驗日報表6.外出檢驗要求：6.1表面：石英坩堝內(nèi)表面必須光滑，不能太粗糙。6.2氣泡與氣泡群：在石英坩堝直壁上直徑小于2mm允許出現(xiàn)氣泡群且小于5個。氣泡直徑不允

3、許大于2.5mm，1.5-2.5mm的氣泡不允許超過2個，1.0-1.5mm的氣泡不允許超過4個，0.5-1.0mm的氣泡不允許超過5個,0.5mm氣泡以下的可忽略不計(氣泡兩間距大于80mm)。6.3黑點：石英坩堝上口40mm內(nèi)表面黑點直徑小于3mm允許1個；弧度以下直徑小于1mm黑允許2個；直壁上表面中直徑小于1mm允許2個，內(nèi)黑點直徑0.5mm以下的可忽略不計，兩黑點間距大于80mm。6.4白斑：石英坩堝內(nèi)白斑直徑0.5以下的忽略不計，0.5-3mm的白斑不能超過3個且均勻分布，白斑直徑不能大于3

4、mm兩點的間距大于80mm。6.5凸點：石英坩堝直壁上表面≤0.5mm且表面光滑允許一個。6.6裂痕：石英坩堝里一律不準有裂痕。6.7劃痕:石英坩堝里一律不準有劃痕。6.8凸起氣泡：石英坩堝內(nèi)不準有凸起氣泡。