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《PMMA介質(zhì)層銦鋅氧化物薄膜晶體管的制備與研究.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫(kù)。
1、PMMA介質(zhì)層錮鋅氧化物薄膜晶體管的制備與研究作者:馮佳涵指導(dǎo)教師:張群教授指導(dǎo)小組:崔曉莉教授沈杰副教授碩士學(xué)位論文PMMA介質(zhì)層鋼鋅氧化物薄膜屏!體竹的制各與研究擔(dān)以李A(yù)BSTRACT.....................................................................................................................................……!V第一章緒論...............................................
2、...................................................................................……11.1引言......................................................................................................................................……!1.2薄膜晶體管的發(fā)展及應(yīng)用.........................................
3、.................................................……21.3薄膜晶體管的工作原理...............................................................................................……31.4傳統(tǒng)硅基薄膜晶體管.....................................................................................................……91.5氧
4、化物薄膜晶體管........................................................................................................……101.5.1國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀.....................................................................................................……101.5.2半導(dǎo)體溝道層材料......................................
5、..........................................................……111.5.3介質(zhì)層材料..............................................................................................................……131.5.4電極材料........................................................................................
6、...........................……141.6本論文的研究意義和研究?jī)?nèi)容..............................................................................……，15第二章非晶錮鋅氧化物薄膜晶體管的市l(wèi)J各一與表征...............................................……172.1制備方法.......................................................................
7、.................……，..…，...........……172.1.1直流反應(yīng)磁控濺射制備無(wú)機(jī)溝道層................................……，........................……172.1.2浸漬提拉法制各有機(jī)介質(zhì)層..............……，.........……，......................................……192.1.3真空熱蒸發(fā)制備金屬電極.........................................................
8、...................
