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《基于圖像傳感器的微納米定位方法研究.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫(kù)。
1、分類(lèi)號(hào)：!￡墮!：!UDC：密級(jí)編號(hào)基于圖像傳感器的微納米定位方法研究STUDY0NMICRO—NANOLOCALIZATIoN臟THODSBAS即ONIMAGESENSOR學(xué)位授予單位駛代碼：絲登型王丕堂I!Q!鰻2學(xué)科專(zhuān)業(yè)名稱及代碼：槿囂監(jiān)i劇生型鰉丞箕(塑!!業(yè)2研究方向：堪式遲剖．生國(guó)堡絲堡申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：亟±指導(dǎo)教師：塑蟲(chóng)越攫研究生：蝗墾臧論文起止時(shí)間：墊Q!：!!=嬰!Q：12長(zhǎng)春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的碩士學(xué)位淪文．《基于圖像傳感器的微納米定位方法研究》是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究工作
2、所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用桷內(nèi)容外．本論文不包臺(tái)任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的作品成果。對(duì)本盤(pán)的研究做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。作者簽名衄L哇月望月長(zhǎng)春理工大學(xué)學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書(shū)本學(xué)位論文作者及指導(dǎo)教師完全了解“長(zhǎng)春理工大學(xué)碩士、博士學(xué)位論文版權(quán)使用艦定”，同意長(zhǎng)春理工大學(xué)保留并向中國(guó)科學(xué)信息研究所、中國(guó)優(yōu)秀博碩士學(xué)位論文全文數(shù)掘庫(kù)和cNKI系列數(shù)據(jù)庫(kù)及其它國(guó)家有關(guān)部門(mén)或機(jī)構(gòu)送交學(xué)位論文的復(fù)印件和電予版，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)長(zhǎng)春理工大學(xué)可以將本
3、學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索。也可采用影印．縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯編學(xué)位鹼文。作者簽名螄導(dǎo)師弛翌啦fQ!揖三月■R幽吐目a摘要四光束激光干涉研究是激光干涉應(yīng)用研究的新*領(lǐng)域，浚研究受到世界各國(guó)的廣泛關(guān)注。而基于這一研究領(lǐng)域的微納米定位方法研究也逐漸成為了該領(lǐng)域的一個(gè)重要分支。論文通過(guò)構(gòu)建四光柬激光干涉系統(tǒng)．對(duì)采集干涉圖案過(guò)程中的干擾困索進(jìn)行了分析及噪聲處理。對(duì)于濾波后的干涉圖案的定位處理是本文的研究重點(diǎn)，論文從邊緣檢測(cè)理論著手引出亞像素邊緣檢測(cè)算法．分析了基于矩保持的、插值的以及曲線擬臺(tái)的亞像素邊緣檢測(cè)算子．給
4、出了三種算法對(duì)四光束激光干涉圖案的處理結(jié)果；然后．通過(guò)Mauab軟件仿真進(jìn)行了圖像處理，驗(yàn)證了最小二乘圜擬合定位算法的可實(shí)現(xiàn)性；壤后，通過(guò)對(duì)實(shí)際干涉圖案的定位給出了該算法的精度及誤差，證明了該方法可以用于四光束激光干涉圖案的微納米定位。關(guān)鍵詞：納米定位四光束干涉亞像素圖像處理ABSTRACTFour-beamlaserinterferencelithography(FBLIL)isthenewestdomaininthelaserinterferenceappliedresearchTheresearchhasattractedwor
5、ldwideattentionfhemicro—nanolocalizationmethodsresearchstudyhasgraduallybecomeanimportantbranchofthefieldInthispaper．byconstructingthefour-hennainterferencesystem1analysistheinterferencefactorsintheprocessofcollectingtheinterferencepatternandgivethenoiseprocessingThefoc
6、usofthispaperisthelocalizationoftheinterferencepatternThepaperstartstheresearchfromedgedetection，anddiscussesthesub-pixeledgedetectionalgorithmTherealethreealgorithmstoprocesstheinterferencepatternsThoseatebasedonthemoment-preservingoperator．theinterpolationoperatorandt
7、hechivefittingoperatorlAlsogivetheresaltstothesethreeoperatorsThenJusetheMatlabtosimulatetheimageprocessing．a(chǎn)ndverifytheleastsquarescirclelocalizationmethodcanberealizedAtlasL1givetheaccuracyanderrorofthelocalizationoftheactualinterferencepatternTheresultsshowthatthemet
8、hodca／tbeusedforfouPbeamlaserinterferencepatternofthemicro．nanolocalizationKeywords：micro-nanolocalizafionFBLI
