單晶爐常規(guī)事故處理.doc

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1、常見故障及處理A.停水a(chǎn).發(fā)生停水時(shí)，立即檢查（自動(dòng)打開的）或打開停水爐子的事故水進(jìn)水閥。1)關(guān)閉加熱功率。2)復(fù)位控制柜面板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng)狀態(tài)。3)降低堝位到熔料堝位。4)關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。b.停水后水壓恢復(fù)。1)冷卻水恢復(fù)供應(yīng)時(shí)，立即檢查（自動(dòng)打開的）或關(guān)閉事故水閥門，監(jiān)控水壓，有異常立即報(bào)告管理人員。2)水壓恢復(fù)時(shí)，爐內(nèi)無嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，熔體未結(jié)晶或已結(jié)晶但液面結(jié)晶小于10分鐘且石英坩堝未破裂，按加熱功率開，調(diào)節(jié)功率到熔料功率。3)啟動(dòng)堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為2轉(zhuǎn)/分，打開堝轉(zhuǎn)前，確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零位。4)熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切爐內(nèi)有無嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，注意硅料液面熔化情

2、況，一旦發(fā)生嚴(yán)重氧化現(xiàn)象、硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。5)晶體處理同晶變單晶一致，待結(jié)晶全熔后，手動(dòng)調(diào)節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。c.停水后水壓無法恢復(fù)，或恢復(fù)時(shí)熔體已結(jié)晶大于10分鐘。1)快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。2)在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。3)停爐，充分冷卻后拆爐B.停電a.若爐子工作時(shí)，加熱部分停電。1)復(fù)位控制柜面板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng)狀態(tài)。2)降低堝位到熔料堝位。3)關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。4)加熱部分恢復(fù)時(shí)，若時(shí)間較短（液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10分鐘且石英坩堝未破），按加熱功

3、率開，將功率升至熔料功率。5)啟動(dòng)堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為2轉(zhuǎn)/分，打開堝轉(zhuǎn)前，確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零位。6)熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。7)晶體處理同晶變單晶一致，待結(jié)晶全熔后，手動(dòng)調(diào)節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。8)加熱部分恢復(fù)時(shí)，若停電時(shí)間較長(zhǎng)（液面結(jié)晶已經(jīng)大于10分鐘或石英坩堝破裂），快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。9)在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。10)停爐，充分冷卻后拆爐。b.若爐子工作時(shí)，加熱電源、控制電源同時(shí)斷電。1)立即關(guān)閉抽空閥門。關(guān)閉所有升

4、降轉(zhuǎn)動(dòng)開關(guān)。2)手動(dòng)搖手柄降低堝位到熔料堝位。3)同時(shí)將氬氣流量調(diào)為最大，充氬氣至-0.05MPa左右，關(guān)閉氬氣。4)電源恢復(fù)時(shí)，立即開真空泵，待半分鐘后開抽空閥門，將氬氣流量恢復(fù)正常。5)若時(shí)間較短（液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10分鐘且石英坩堝未破），按加熱功率開，將功率升至熔料功率。6)啟動(dòng)堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為2轉(zhuǎn)/分，打開堝轉(zhuǎn)前，確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零位。若晶體或籽晶與液面結(jié)晶在一起，則要等晶體或籽晶與液面結(jié)晶面熔化并脫離后方可啟動(dòng)。7)熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。8)晶體處理同晶變單晶一致，待結(jié)晶全熔后，手動(dòng)調(diào)

5、節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。9)若停電時(shí)間較長(zhǎng)（液面結(jié)晶已經(jīng)大于10分鐘或石英坩堝破裂），快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。10)在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。11)停爐，充分冷卻后拆爐。C.石英坩堝裂開或漏料a.立即關(guān)閉功率。b.復(fù)位控制柜面板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng)狀態(tài)。c.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。d.快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。e.在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，如有可能，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。f.停爐，充分冷卻后拆爐。D.石墨坩堝裂開a.石墨坩堝裂開可觀察電流表狀態(tài)，是否有抖動(dòng)

6、現(xiàn)象。b.有電流表抖動(dòng)現(xiàn)象說明與加熱器相擦，應(yīng)立即關(guān)閉功率。c.復(fù)位控制柜面板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng)狀態(tài)。d.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。e.快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。f.在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，如有可能，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。g.停爐，充分冷卻后拆爐。E.爐內(nèi)漏水或觀察窗玻璃裂開a.當(dāng)爐內(nèi)出現(xiàn)大量漏水或觀察窗玻璃裂開時(shí)，則立即關(guān)閉功率。b.關(guān)閉所漏部位的水源，關(guān)閉閥門及真空泵，對(duì)爐內(nèi)進(jìn)行充氬氣至-0.05MPa左右，關(guān)閉氬氣。若觀察窗玻璃裂開時(shí)確認(rèn)爐內(nèi)未出現(xiàn)大量漏水可不關(guān)閉閥門及真空泵但要隨時(shí)觀察爐內(nèi)情況，以采取應(yīng)急措施。c.復(fù)位控制柜面

7、板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng)狀態(tài)。d.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。e.快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。f.在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，如有可能，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。g.停爐，充分冷卻后拆爐。