資源描述：
《單晶爐故障維修.doc》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫(kù)。
1、單晶爐故障維修-----有問必答！開個(gè)貼！單晶爐故障，有問必答！希望各位多多支持！問題大家討論！;大兵;大兵;大兵;大兵Dante2009-7-1821:37支持樓主！shenmou4672009-7-1914:28對(duì)于經(jīng)運(yùn)通的路子晶轉(zhuǎn)和過轉(zhuǎn)最多是8比5，轉(zhuǎn)數(shù)上不去怎么解決？經(jīng)幫晃動(dòng)和頁(yè)面抖動(dòng)怎么解決？（漢宏0直線導(dǎo)軌2009-7-1918:31[quote]原帖由shenmou467于2009-7-1914:28發(fā)表對(duì)于經(jīng)運(yùn)通的路子晶轉(zhuǎn)和過轉(zhuǎn)最多是8比5，轉(zhuǎn)數(shù)上不去怎么解決？經(jīng)幫晃動(dòng)和頁(yè)面抖動(dòng)怎么解決？（漢宏85爐子）。謝謝[/q
2、uote]第一個(gè)問題再說的清楚點(diǎn)。晶棒晃動(dòng)：這種現(xiàn)象俗稱"棒擺"棒擺會(huì)發(fā)生在整個(gè)拉晶的各個(gè)階段：引晶/生長(zhǎng)/收尾棒擺的原因有很多，不是單單一個(gè)方面引起的。曾經(jīng)美國(guó)****公司花巨資專門研究這個(gè)為題。也沒有得出明確結(jié)論。但主要方面有以下幾點(diǎn)。:1.軟軸（鋼絲繩）2.提拉頭，減速機(jī)構(gòu)/旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。3.熱場(chǎng)。4.氬氣（流量/氣流在爐內(nèi)的流動(dòng)）5.爐子機(jī)構(gòu)6.熱場(chǎng)設(shè)計(jì)/分布7.真空系統(tǒng)（泵/管道）8.冷卻系統(tǒng)（水流/水溫）9.硅料（如拉電子級(jí)棒，不同型號(hào)的棒子。10.重錘（形狀/重量/精度液面抖動(dòng)原因：1.下軸機(jī)械部分：有死點(diǎn)/雜物/欠缺潤(rùn)滑
3、/軸彎了。2.下軸傳動(dòng)部分，減速器故障。如蝸輪斷齒。3.下軸和爐體之間有雜物。（已發(fā)生在漏硅后,沒有清理干凈）4.檢查電機(jī)驅(qū)動(dòng)部分。伺服電機(jī)不會(huì)出現(xiàn)這種現(xiàn)象。直流電機(jī)經(jīng)常發(fā)生。btsunny2009-7-1919:41學(xué)習(xí);握手直線導(dǎo)軌2009-7-1920:22謝謝[捧場(chǎng)！tzlijf2009-7-1921:50華盛天龍的85爐，現(xiàn)在有四只爐拉出的晶棒上有白斑,不知是何原因，[attach]64525[/attach][attach]64526[/attach]btsunny2009-7-1922:10是不是剛剛清完?duì)t啊?tzli
4、jf2009-7-1922:22不是的，連續(xù)有二爐都這樣，直線導(dǎo)軌2009-7-2011:09[size=7]檢查提拉頭。[/size][size=7]鋼絲繩卷筒或軸承潤(rùn)滑油滴落！[/size];大兵;大兵;大兵;大兵SAD2009-7-2012:28晶體直徑控制不好，頭部拉速波動(dòng)很大！是PID的問題？PID怎么調(diào)整？人口吧2009-7-2015:50有臺(tái)漢虹爐子連續(xù)５爐到了６００－８００之間的長(zhǎng)度時(shí)（其中一爐是４９０），直徑突然變大，前面等徑時(shí)溫度、拉速和直徑控制都很穩(wěn)定。爐子的各方面參數(shù)都和其它爐子一樣，檢查了提拉頭的籽晶繩和連
5、軸器都沒問題請(qǐng)問各位，這是什么原因造成的？直線導(dǎo)軌2009-7-2018:14[quote]原帖由SAD于2009-7-2012:28發(fā)表晶體直徑控制不好，頭部拉速波動(dòng)很大！是PID的問題？PID怎么調(diào)整？[/quote]看是什莫爐子了。國(guó)產(chǎn)爐：PID調(diào)整廠家會(huì)給你參數(shù)的。直線導(dǎo)軌2009-7-2018:18[quote]原帖由人口吧于2009-7-2015:50發(fā)表有臺(tái)漢虹爐子連續(xù)５爐到了６００－８００之間的長(zhǎng)度時(shí)（其中一爐是４９０），直徑突然變大，前面等徑時(shí)溫度、拉速和直徑控制都很穩(wěn)定。爐子的各方面參數(shù)都和其它爐子一樣，檢查了提
6、拉頭的籽晶繩和連軸器都沒問題請(qǐng)問各位，這是什么原因造成的？...[/quote][size=5]檢查一下提拉頭皮帶張緊力如何。負(fù)載太大張緊力不夠會(huì)造成提拉速度減慢，直徑變大。[/size][size=5]另外，檢查電機(jī)是否有發(fā)熱現(xiàn)象。電機(jī)抗負(fù)載能力故障也會(huì)造成。[/size][size=5]檢查一下再說吧！[/size]wangyc82072009-7-2109:33搞不懂，頂！人才SAD2009-7-2114:31創(chuàng)聯(lián)CL90和理工大80的PID是多少？直線導(dǎo)軌2009-7-2115:03[quote]原帖由SAD于2009-7-
7、2114:31發(fā)表創(chuàng)聯(lián)CL90和理工大80的PID是多少？[/quote]不好意思這是人家的內(nèi)部參數(shù)。我也不太清楚。如果你們購(gòu)買的是他們的爐子，你可以向他要呀！或者讓他們派技術(shù)人員來幫你沒解決。我不是生產(chǎn)爐子的。謝謝！~恒新自控/創(chuàng)聯(lián)科技總經(jīng)理：丁積軍??電話：你可以聯(lián)系她！ygshebeigongsi2009-7-2115:41我?guī)湍沩斠幌?強(qiáng)[quote]原帖由XUCK于2009-7-2208:35發(fā)表請(qǐng)教，怎樣保證每一臺(tái)單晶爐的供水壓力都相同？[/quote]只要你冷卻水系統(tǒng)設(shè)計(jì)的合理，你很容易根據(jù)每臺(tái)爐子的壓力表調(diào)整但臺(tái)爐子
8、的壓力。系統(tǒng)設(shè)計(jì)好后，因?yàn)槊颗_(tái)爐子的內(nèi)部水阻略有不同，所以會(huì)造成單臺(tái)爐子之間以一定的壓力不同，這是正常的。你可以根據(jù)每臺(tái)爐子的壓力表調(diào)整路子的進(jìn)出水閥門，來調(diào)整壓力。;大兵;大兵;大兵[quote]原帖由直線導(dǎo)軌于2009-7-201
