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《單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu)與維修研討.ppt》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在PPT專區(qū)-天天文庫。
1、TDR85A-ZJS單晶爐的機(jī)械 結(jié)構(gòu)與維修背景—半導(dǎo)體生產(chǎn)流程拉制單晶棒（本產(chǎn)品研究環(huán)節(jié)）石英砂－金屬硅多晶單晶硅棒單晶硅片集成電路太陽能電池太陽能電池應(yīng)用集成電路應(yīng)用設(shè)備簡介直拉式單晶硅生長爐是一種高效率制備硅單晶體的設(shè)備。將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進(jìn)行高溫熔化（大于1450℃），在低真空度和氬氣保護(hù)下，通過籽晶插入多晶硅熔體后，在籽晶周圍形成過冷態(tài)并進(jìn)行有規(guī)律結(jié)晶生長，形成一根單晶棒體。工藝過程加熱器籽晶CCD坩堝提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)坩堝抽真空檢漏調(diào)壓熔料穩(wěn)定熔接引晶放肩轉(zhuǎn)肩等徑收尾停爐氧化籽晶提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)單晶棒液面測溫儀熱場測溫儀氬氣流量熔料引晶放肩等
2、晶收尾TDR85A-ZJS全自動晶體生長爐整體結(jié)構(gòu)尺寸爐體電控柜電源柜總重整體結(jié)構(gòu)尺寸接口尺寸籽晶提升機(jī)構(gòu)經(jīng)過靜平衡和動平衡測試帶稱重傳感器快慢速雙電機(jī)外置限位調(diào)節(jié)觀測玻璃窗光電編碼計行程晶體提升機(jī)構(gòu)晶體提升機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)（主視）晶體提升機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)（俯視）晶體提升腔拆裝及調(diào)整1、拔下稱重傳感器腔上的航空插頭。2、從鋼絲繩上取下籽晶夾頭。3、將纜索管下降到如左圖所示位置之后，取下鋼絲繩。4、松開第二級蝸輪蝸桿減速箱輸出軸上卡環(huán)的內(nèi)六角螺釘，松開剛性連軸器右側(cè)的緊定螺釘，將其向外滑出。小心不要把聯(lián)軸器上的十字塊跌落。5、松開行程塊的2顆固定螺釘，卸下同步帶。6、拆下把提
3、升腔固定到晶升底板上的兩個螺釘。螺釘是從底板下面向上旋進(jìn)的。7、把提升腔垂直平穩(wěn)向上提起，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封的O型圈和軸。8、松開2顆鉸鏈螺釘，使稱重腔與提升腔脫離。拆裝鋼絲繩時纜索管位置晶體提升腔拆裝及調(diào)整取出壓力輥?zhàn)咏M件右端蓋左端蓋取出右端蓋花鍵軸、纜索管取出晶轉(zhuǎn)磁流體10拆下提升腔右端蓋的4顆螺釘。11拆下提升腔左端蓋的蓋板，用銅棒敲擊花鍵軸，將其向右端推出，同時順時針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜索管從銅螺母的螺紋上脫開，將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封作為一個整體從提升腔內(nèi)抽出。12用小拉馬取下花鍵軸左端的滾動軸承。13松開并取
4、下把花鍵軸滑套固定到纜索管上的4顆螺釘。9松開壓力滾子組件固定到提升腔上的4顆螺釘，拆下壓力滾子組件。14將纜索管從花鍵滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花鍵軸，否則，滾珠將會從滾槽中掉下來。晶體提升腔拆裝及調(diào)整15、拆下提升腔左端蓋的4顆螺釘，將左端蓋連同銅螺母一起從提升腔內(nèi)抽出。16、拆下把銅螺母固定到蓋端上的4顆螺釘，取下銅螺母。17、重裝時，首先銅螺母裝回端蓋，裝回把銅螺母固定到蓋端上的4顆螺釘。18、將右端蓋裝回提升腔，上緊固定螺釘。19、將纜索管裝入花鍵滑套，上緊固定螺釘。20、裝回花鍵軸左端的滾動軸承。21、將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁流體
5、密封作為一個整體從提升腔右側(cè)送入，逆時針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜索管擰入銅螺母，將右端蓋完全壓入提升腔，上緊4顆固定螺釘。22、裝回提升腔左端蓋的蓋板，擰緊固定螺釘。23、裝回壓力滾子組件，擰緊壓力滾子組件固定到提升腔上的4顆螺釘。24、將對中針從提升腔下面晶轉(zhuǎn)磁流體孔放入，檢查鋼纜螺紋與磁流體孔中心的位置，保證磁流體孔中心與所對應(yīng)螺紋的中心的偏差不大于0.05mm。左端蓋及銅螺母對中針纜索管的對中晶體提升腔拆裝及調(diào)整25、提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封的O型圈和軸。在O型圈上抹少量的真空脂將有助于提升腔的裝入。26、裝回把提升
6、腔固定到底板上的兩顆螺釘。27、裝回稱重腔，擰緊鉸鏈螺釘。28、裝回鋼絲繩，并重新檢查限位開關(guān)的設(shè)置。29、裝回剛性聯(lián)軸器和卡環(huán)，確定聯(lián)軸器上的十字塊仍在正確位置。30、在鋼絲繩上裝上籽晶夾頭。31、將稱重傳感器腔的航空插頭重新插上。籽晶鋼纜的對中1、安放對中靶在坩堝軸的托盤上，保證其位于托盤正中。2、安裝對中針在籽晶夾頭的一端。3、定位坩堝使對中靶在要求的熔體水平位置。4、抽空單晶爐且維持在20Torr靜態(tài)壓力。5、降下籽晶夾頭，使對中針幾乎觸及對中靶。6、從另一個觀察窗觀察對中針是否正對對中靶中心。7、如對中針沒有正對對中靶中心，則松開固定籽晶提升裝置的
7、三個壓緊塊。8、調(diào)整壓緊塊側(cè)面的頂緊螺釘使對中針正對對中靶中心。9、上緊三個壓緊塊，觀察對中針是否有偏差。10、拆下對中靶和對中針。晶升離合器的調(diào)整1、使用0.2mm的塞尺塞入離合器，當(dāng)離合器通電時，固定離合器右側(cè)的定位螺釘。2、離合器斷電，取出塞尺，重新通電，檢查是否吸合。3、離合器斷電，用0.2mm的塞尺檢查間隙是否有變化。4、反復(fù)測試幾次，至離合器吸合、分離正常。晶體提升機(jī)構(gòu)維護(hù)周期表設(shè)備名稱維修周期步驟籽晶鋼纜每次運(yùn)行檢查磨損、損壞情況籽晶提升滑輪及卷絲輪每個月清潔并檢查對中性晶轉(zhuǎn)和晶升皮帶3個月檢查磨損/對中和張力晶轉(zhuǎn)、晶升電機(jī)噪聲、刷磨損3個月檢
8、查碳刷長度聯(lián)軸器緊定螺釘3個月檢查緊固性晶升離合器組
