微區(qū)壓印法制作微透鏡陣列擴(kuò)散片的研究

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1、Thefabricationofmicrolensarraydiffuserusingmicro—·areaimprintmethodAbstractInrecentyears,theresearchofmicro-opticshasbeenveryactive,Microlensandthemicrolensarrays(MLAs)asaverytypicalandcommonmicro—opticaldevicehasarousedwidespreadinterests.MLAsisthebasisofminiatureand

2、integratedopticalsystems,andhasmanyimportantapplicationsinopticalcomputing,opticaldisplay,opticalinformationprocessingandopticalcommunications.MLAsfabricationmethodhasalsobeenin—depthstudy,therearemanymanufacturedtechniquessuchas:resistmeltingmethod,黟ayscalemask,hotbo

3、ssingmethod,sol—gelmethodandPhoto—inducedcrosslinkingpolymerization.Nano—imprintlithographyisagraduallydevelopedtechnologyinrecentyears.Witlltheadvantageofhighresolution,highefficiencyandlowcost。ithasknownas”oneofthetentechnologiesthatcouldchangetheworld”.Inthispaper,

4、wepresentsanewmicrolensarrayfabricationmethods—micro-areaimprintmethod.Micro—areaimprintthroughthesmallunitregion’Srepeatedimprinttoachievethecombinationoflargeformat,thepaperexpoundedanalysisthemicro·areaimprintprinciple,designandfabricatethemicro—areaimprintmachines

5、ystem.Detailsofthemicroimprintmachinesystemisproposed,includeditsstructures,operatingprinciplesandmajorcomponents’function.Usingmicro-areaimprintmachinesystemproducedmicrolensarray.Andalargenumberofexperimentsandexplanationsaremadeaboutthepreparationoftheimpressionmat

6、erial,thefabricationofimprinttemplatesandtheselectionofimprintparameters.AfterthefabricationofMLAs,Paperproposedanewtypeofopticaldiffuserwithcascadedmicrolensarrays(MLAs).ThediffuseriscomposedofalayerofMLAswithsmallapertureandhi曲numericalaperture(NA)onoutputsideandala

7、yerofMLAsII微區(qū)壓印法制作微透鏡陣列擴(kuò)散片研究英文摘要withlargeapertureandlowNAonincidentside.Theinfluenceoftheparameters(suchassagheight,apertureetc.)ofcascadedMLAsonthediffusingbehaviorisinvestigatedbyusingofraytracingmethod.Theresultsshowthatthemaximumluminanceincreases、析ththeratioofsag

8、heighttoapertureandanadditional3-5%opticalgainCanbeaccomplishedbyinsertinganotherlayerofMLAswitllaheight—apertureratioof0.01

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