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《基于雙壓電驅(qū)動(dòng)宏微結(jié)合的納米定位臺(tái)的研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫(kù)。
1、目錄第一章緒論...............................................................................................................11.1課題來(lái)源.............................................................................................................11.2論文研究背景及意義.........
2、................................................................................11.3宏微結(jié)合納米定位臺(tái)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀...........................................................21.3.1宏微結(jié)合納米定位臺(tái)的國(guó)外研究現(xiàn)狀.....................................................21.3.2宏微結(jié)合納米定位臺(tái)的國(guó)內(nèi)研究現(xiàn)狀
3、.....................................................51.4論文主要研究?jī)?nèi)容............................................................................................111.5本章小結(jié)...........................................................................................
4、................12第二章宏定位系統(tǒng)方案研究......................................................................................132.1宏動(dòng)臺(tái)方案設(shè)計(jì)...............................................................................................132.2宏動(dòng)臺(tái)結(jié)構(gòu)組成......................
5、.........................................................................142.2.1壓電馬達(dá).................................................................................................142.2.2光柵測(cè)量系統(tǒng)...............................................................
6、..........................162.2.3交叉滾子導(dǎo)軌.........................................................................................172.2.4宏動(dòng)臺(tái)的控制.........................................................................................182.3宏微結(jié)合定位系統(tǒng)..............
7、.............................................................................192.4本章小結(jié)...........................................................................................................21第三章微定位平臺(tái)方案研究..................................................
8、....................................223.1微定位系統(tǒng)組成...............................................................................................223.2微定位平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器.............................................
