冷場發(fā)射掃描電鏡維護

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1、Marketing天美（中國）科學(xué)儀器有限公司TECHCOMP(CHINA)LTD.中國北京朝陽區(qū)天暢園7號樓1、3層TEL:010-64010651FAX:010-64060202E-MAIL:techcomp@techcomp.cn冷場發(fā)射掃描電鏡維護日常保養(yǎng)和維護的目的：最大限度消除掃描電鏡的干擾因素，使其處于最佳的工作狀態(tài)，獲得良好的圖像質(zhì)量和分析結(jié)果。同時可以通過日常維護保養(yǎng)，能夠及早發(fā)現(xiàn)和解決潛在問題。冷場掃描電鏡日常保養(yǎng)維護內(nèi)容：1.冷卻循環(huán)水機維護：每月檢查一次，記錄是否下降并及時補充，換水以及清洗過濾網(wǎng)（頻率：一年一次以上）2.空氣壓縮機維護：放水（頻率：一個

2、月一次以上），見圖一圖一：循環(huán)水機和空氣壓縮機3.機械泵、干泵維護：機械泵：半年一次以上，當機油霧收集器附著油液或有油煙時立即更換。當油的顏色變?yōu)椴枭珪r或換油過了六個月時：停機→交換油→開機Marketing天美（中國）科學(xué)儀器有限公司TECHCOMP(CHINA)LTD.中國北京朝陽區(qū)天暢園7號樓1、3層TEL:010-64010651FAX:010-64060202E-MAIL:techcomp@techcomp.cn干泵：一年一次，委托售后人員維護保養(yǎng)。4.烘烤與機械對中（頻率：一年一次以上）烘烤流程：拆下最上端電磁罩→拆下電子槍→取下鏡筒罩→裝上Outer加熱器→裝上I

3、nner導(dǎo)線→把兩對導(dǎo)線連接到后面板→放置高溫注意牌提醒→前面板定時→開后面板總開關(guān)→開始烘烤→結(jié)束機械對中流程：1KV，flashing，記錄電流值及IP值→軟硬件光闌歸零→空樣品臺加高壓→選軟件Align調(diào)光斑→機械調(diào)整→聚光鏡光闌對中→物鏡可動光闌對中→象散對中→完成圖二：機械泵及內(nèi)外烘烤裝置5.緊急停電關(guān)機處理緊急關(guān)機在緊急情況下，按下紅色EMERGENCYOFF按鈕順時針旋轉(zhuǎn)到底，系統(tǒng)關(guān)機后，將各開關(guān)按鈕撥至正常停機位置。短時間關(guān)機退出PC_SEM程序→退出系統(tǒng)→關(guān)閉DISPLAY→關(guān)閉EVAC→等待Marketing天美（中國）科學(xué)儀器有限公司TECHCOMP(CH

4、INA)LTD.中國北京朝陽區(qū)天暢園7號樓1、3層TEL:010-64010651FAX:010-64060202E-MAIL:techcomp@techcomp.cn約35分鐘后MultiIndicator區(qū)域顯示“POFF”→關(guān)閉MAINSWITCH→關(guān)閉電源總開關(guān)。6.長時間停機程序1.先關(guān)閉HV和PC，然后關(guān)閉DISPLAY，關(guān)閉STAGE；2.將EVACPOWER撥到O（OFF），等待35分鐘，真空系統(tǒng)（離子泵停下來后分子泵會停）停止。面板上顯示有“POFF”字樣；3.將IP1，IP2，IP3都撥到OFF檔；4.將關(guān)閉IP，EVAC，DISPLAY與OUTERBAKA

5、E，然后關(guān)掉MAINbreaker;5停止循環(huán)水機工作。7.開機程序1.在DISPLAY后面，先將MAINbreaker開關(guān)處于ON，同時，一邊手按住RESET；2.開IP，EVAC，DISPLAY；3.將真空操作面板的IP1，IP2，IP3都撥到ON檔；4.將EVACPOWER撥到ON，注：從抽真空到完成需1小時；然后APTHEATER撥到AUTO檔.5．等樣品室與離子泵的真空恢復(fù)正常后，打開循環(huán)水機；6.開STAGE,并將DISPLAYPOWER打開，即處于ON；7.加壓，觀測樣品的圖像.