單晶爐的數(shù)據(jù)和要求.doc

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1、浙江宏業(yè)新能源有限公司TDR-90單晶爐技術(shù)數(shù)據(jù)和要求一．技術(shù)特性：1.主要性能：1）能拉制晶棒的直徑：6”--8”2）拉制晶棒的最大長(zhǎng)度：2,000mm以下(籽晶及縮頸-放肩-晶體-收尾)3)熔料量:90kg2.主要參數(shù)：1)電源電壓：三相AC380V±5％200KVA2)電源頻率：50Hz/50Hz3)加熱變壓器容量：50V　2700A　150KW輸出調(diào)整范圍：16.5KW～135KW(300A～2700A、5.5V～50V)輸出控制方式：功率控制功率控制精度：額定直流輸出±2%以內(nèi)4)最高加熱溫度：16000C5)冷爐極限真空度：<3Pa6)上爐筒尺寸：高度：900mm內(nèi)徑：Ф900mm

2、7)隔離閥：手動(dòng)翻板水冷式高度：482mm通徑：Ф280mm8)主爐室尺寸：900*1250mm高度：爐蓋高：260mm下爐筒：900*350mm上半部分高：690mm下半部分高：250mm爐底盤深：135mm（兩電極中心距：430mm）9)籽晶提升裝置：軟軸式籽晶在爐內(nèi)有效行程：約2500mm籽晶提升速度：低速0.3～8mm/min　高速≥300mm/min籽晶旋轉(zhuǎn)速度：2～40rpm可拉制晶體重量：90kg卷線輥筒：6”密封：晶體旋轉(zhuǎn)軸：磁性流體籽晶提升裝置卷線軸：磁性流體籽晶軟軸：材質(zhì)：鎢　19×7(縷)直徑：約2.5mm10)坩堝驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)：坩堝旋轉(zhuǎn)速度：2～20rpm坩堝軸有效行程：4

3、50mm坩堝升降速度：低速：0.02～1mm/min高速：≥50mm/min坩堝軸荷重：165kg密封：磁性流體和SUS316L焊接波紋管3.．尺寸和重量：外形及安裝尺寸：主機(jī)占地面積：2500*200mm主機(jī)最大高度：7500mm以下(在上爐筒上升的情況下，從設(shè)備主體最下部起至籽晶提升裝置最上部為止的高度)重量：爐主體：約4500kg操作箱：約100kg控制箱：約400kg電源箱：約2100kg設(shè)備整機(jī)和配套件包括：爐主體、操作箱、控制箱、電源箱、水冷電纜和隨機(jī)附件。4.使用環(huán)境A）環(huán)境溫度：20±5℃；B）相對(duì)濕度：≤65%，杜絕腐蝕性氣體；C）外界振源當(dāng)大于10Hz時(shí)，振幅值應(yīng)小于0.0

4、03mm；5.水源要求冷卻水源的具體要求為：酸堿度PH=6.0～8.0硬度（CaCO3）＜150PPM導(dǎo)電率＜500μS/CM氯離子（Cl-）＜100PPM硫酸根離子（SO42-）＜200PPM碳酸堿（CaCO3）15～60PPM流量：280L/min～320L/min（含電源的冷卻水）進(jìn)水壓力：3kg/c㎡～3.5kg/c㎡進(jìn)出水壓力差：2kg/c㎡以上進(jìn)水溫度：10～25℃6.氣源要求氬氣純度：﹥99.999％氬氣壓力：0.2MPa(2.1kg/c㎡)以上氬氣流量：最大流量150L/min