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1、…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………````4.光刻膠光刻膠主要由樹脂（Resin）、感光劑（Sensitizer）、溶劑（Solvent）及添加劑（Additive）等不同的材料按一定比例配制而成。其中樹脂是粘合劑（Binder），感光劑是一種光活性（Photoactivity）極強的化合物，它在光刻膠內(nèi)的含量與樹脂相當，兩者同時溶解在溶劑中，以液態(tài)形式保存，以便于使用。4.1光刻膠的分類⑴負膠1.特點·曝光部分會產(chǎn)生交聯(lián)（CrossLinking），使其結(jié)構(gòu)加強而不溶于現(xiàn)像液；·而未曝光
2、部分溶于現(xiàn)像液；·經(jīng)曝光、現(xiàn)像時，會有膨潤現(xiàn)像，導(dǎo)致圖形轉(zhuǎn)移不良，故負膠一般不用于特征尺寸小于3um的制作中。2.分類（按感光性樹脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)分類）常用的負膠主要有以下兩類：·聚肉桂酸酯類光刻膠這類光刻膠的特點，是在感光性樹脂分子的側(cè)鏈上帶有肉桂酸基感光性官能團。如聚乙烯醇肉桂酸酯（KPR膠）、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯（OSR膠）等。·聚烴類—雙疊氮類光刻膠這種光刻膠又叫環(huán)化橡膠系光刻膠。它由聚烴類樹脂（主要是環(huán)化橡膠）、雙疊氮型交聯(lián)劑、增感劑和溶劑配制而成。3.感光機理①肉桂酸酯類光刻膠KPR膠和OSR膠的感光性樹脂分子結(jié)構(gòu)如下：…………………………………
3、………………………最新精品資料推薦……………………………………………………9…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………在紫外線作用下，它們側(cè)鏈上的肉桂酰官能團里的炭－炭雙鍵發(fā)生二聚反應(yīng)，引起聚合物分子間的交聯(lián)，轉(zhuǎn)變?yōu)椴蝗苡诂F(xiàn)像液的物質(zhì)。KPR膠的光化學(xué)交聯(lián)反應(yīng)式如下：這類光刻膠中的高分子聚合物，不僅能在紫外線作用下發(fā)生交聯(lián)，而且在一定溫度以上也會發(fā)生交聯(lián)，從而在現(xiàn)像時留下底膜，所以要嚴格控制前烘的溫度與時間?！钚戮焚Y料推薦………………………………………
4、……………9…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………①聚烴類—雙疊氮類光刻膠這類光刻膠的光化學(xué)反應(yīng)機理與前者不同，在紫外線作用下，環(huán)化橡膠分子中雙鍵本身不能交聯(lián)，必須有作為交聯(lián)劑的雙疊氮化合物參加才能發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)。交聯(lián)劑在紫外線作用下產(chǎn)生雙自由基，它和聚烴類樹脂相作用，在聚合物分子之間形成橋鍵，變?yōu)槿S結(jié)構(gòu)的不溶性物質(zhì)。其光化學(xué)反應(yīng)工程如下：首先，雙疊氮交聯(lián)劑按以下方式進行光化學(xué)分解反應(yīng)：雙疊氮交聯(lián)劑分解后生成的雙氮烯自由基極易與環(huán)化橡膠分子發(fā)生雙鍵交聯(lián)（加成）和炭氫取代反應(yīng)，機理如下：⑵正膠1
5、.特點·本身難溶于現(xiàn)像液，曝光后會離解成一種溶于現(xiàn)像液的結(jié)構(gòu)；…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………9…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………·解像度高，耐DryEtch性強等。1.分類（按感光性樹脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)分類）目前正膠常用的主要指鄰－疊氮醌類光刻膠。膠中所含鄰－疊氮醌化合物的化學(xué)結(jié)構(gòu)式為：2.正膠成分…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………9……………………………………
6、……………………最新精品資料推薦……………………………………………………1.感光機理鄰－疊氮醌化合物經(jīng)紫外線照射后，分解釋放出N2，同時分子結(jié)構(gòu)進行重排，產(chǎn)生環(huán)收縮作用，形成相應(yīng)的五元環(huán)烯酮化合物，在經(jīng)水解生成溶于現(xiàn)像液的物質(zhì)。關(guān)于正膠現(xiàn)像機理有多種不同的說法，在光刻工藝技術(shù)現(xiàn)像部分6.3.4.⑷現(xiàn)像機理中已作過詳細的介紹，這里不再詳述。正膠感光機理如下：·未曝光部分與光刻膠（PAC）在現(xiàn)像液作用下以偶氮基結(jié)合，抑制樹脂溶于現(xiàn)像液，機理如下：…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………9………………
7、…………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………4.2光刻膠的使用性能和光刻膠理化性能的關(guān)系光刻膠的使用性能光 刻 膠 的 理 化 性 質(zhì)聚合物特性粘 度水 分增感劑濃度金屬離子含量溶劑組成粘附性√√√分辨率√√抗蝕性√√√√圖像穩(wěn)定性√√針孔√√光敏性√√涂層厚度√4.3理想光刻膠的要求…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………9…………………………………………………………最新精品資料推薦……………………………………………………光學(xué)特性⒈照射能量的彌散?。?/p>
8、⒉吸收率大光化學(xué)特性⒈感度高；⒉成像反差大；⒊不容易受周圍氣氛影響圖形形成特性⒈
