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1、.電鍍藥水化驗操作規(guī)制作單位：品保部文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版本號：D1總頁數(shù)：第05-1頁共10頁工序槽名體積分析項目控制圍分析頻率分析方法及計算公式化學沉銅線PTH清潔1線886L2線820LCD-2100.16-0.24N1次/班(1)取5ml槽液加入250ml錐形瓶中加50ml純水及甲酚紅指示劑用0.1N鹽酸滴至綠黃為終點體積為V(2)計算:CD-210(N)=0.2*N*V(3)補加:CD-210(L)=(0.20-測)*0.263V槽微蝕1線886L2線900LSPS
2、65-95g/l3次/班(1)取樣品2ml加DI水50ml、10%H2SO410ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml.(2)用0.1NKMnO4滴定至淺紅色為終點,滴定毫升數(shù)A.(3)取DI水代替樣品,重復(fù)上述步驟,滴定毫升數(shù)為B.(4)計算:SPS(g/l)=5.95(B-A)(5)補加:SPS(kg)=(80-測)*V槽/1000H2SO42.0-3.0%(1)取樣品2ml加DI水50ml,加入甲基橙指示劑3-4滴.用0.5NNaOH標液滴定至黃色即為終點.滴定毫升數(shù)為V.(2)計算H2
3、SO4(%)=1.33NV%(3)補加:H2SO4(L)=(2.5-測)*V槽/100Cu2+≤25g/l(1)取樣品2ml加入DI水50ml,加入20mlPH=10的緩沖液,加PAN指示劑2-3滴用0.05NEDTA-2Na滴至黃色即為終點.(2)計算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2微蝕速率30-50U"1次/班(1)取a×bcm的覆銅基板經(jīng)酸性除油水洗在120℃烘干30分鐘,冷卻稱重W1.(2)經(jīng)微蝕槽(與流程微蝕槽時間一樣)水洗,吹干在120℃烘干30分鐘,冷卻稱重W2.(3)計算:U"=(W1-W2)*
4、106/（2ab*8.92*2.54）電鍍藥水化驗操作規(guī)制作單位：品保部文件編號：QY-QA3009-05Word資料.制作日期：2010/01/20版本號：D1總頁數(shù)：第05-2頁共10頁工序槽名體積分析項目控制圍分析頻率分析方法及計算公式化學沉銅線PTH化學銅(1線2000L2線2526L)Cu2+1.8-2.2g/l3次/班(1)取試樣20ml于錐形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸鈉至淡黃色，加10%KSCN20ml加數(shù)滴淀粉并用0.1N硫代硫酸鈉滴至白色為終點，體積為V。(2)
5、計算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V.(3)補加：EC-251A(L)=(2-測)*26.67NaOH8-10g/l(1)取試樣5ml加50mlDI水以0.1NHCl滴至PH=10.5,滴定毫升數(shù)為A,加10ml10%Na2SO3用0.1NHCl滴至PH=10.5滴定數(shù)為B(2)計算:NaOH(g/l)=8*A*NHCHO(g/l)=6*B*N(3)補加:EC-251B(L)=(9-測值)*6.67EC-251C(L)=(6-測值)*8.33HCHO5-7g/l絡(luò)合劑>0.05N(1)取5ml槽液放入錐形瓶中加
6、0.2gMX指示劑搖勻用0.01N硫酸銅標液滴至綠色為終點(2)計算:絡(luò)合劑(N)=0.002v+0.0158Cu2+(3)補加:EC-251M(L)=(0.06-測)*2667沉積速率0.4-0.6μm1次/班(1)將a×b的無銅基板按化銅正常流程走出后,將試驗板放入250ml燒杯中,加20mlPH=10緩沖液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示劑用0.05NEDTA滴定至蘋果綠為終點.滴定數(shù)為V.(2)沉積厚度(μm)=635NV/(2ab*8.92)除膠渣總錳60-70g/l1次/班(1)取1ml
7、槽液于250ml錐形瓶中,加50mLDI水，加入10mL20%KI和10ml50%HNO3(2)用0.1NNa2S2O3滴至淡黃色加1%淀粉指示劑5-6滴,再用0.1NNa2S2O3滴至無色,記下一共所需毫升數(shù).(3)計算:Mn(g/l)=31.6NV(4)補加:KMnO4(kg)=(65-測值)*V/1000水化驗操作規(guī)制作單位：品保部文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版本號：D1Word資料.總頁數(shù)：第05-3頁共10頁工序槽名(體積)分析項目控制圍分析頻率分析方法及計算公式化學沉銅線
8、PTH除膠渣(1線1800L2線2616L)六價錳<20g/l1次/班(1)取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中,以純水作參比,用玻璃比色皿取樣.讀取波長為540、610nm時的吸光度為A、B。(2)計算：Mn6+(g/l)=147.3B-13.6A(3)計算：Mn7+(g/l)=85.7A-170.1B七價錳35-55g/lN
